판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293758572

DNS / DAINIPPON SC-W60A
ID: 293758572
SOG Coater.
DNS/DAINIPPON SC-W60A는 IC 제조 및 마이크로 일렉트로닉스를 위해 설계된 고정밀 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 DUV (deep ultraviolet) 레이저 소스를 사용하여 정확한 이미지를 저항 기판으로 전달하는 데 사용되는 단단히 초점을 맞춘 광선 패턴을 생성합니다. 그런 다음, "이미지 '기판 을 감광 저항성 물질 로 코팅 하여 광석판 (photolithographic patterning) 과정 을 촉진 시킨다. DNS SC-W60A는 E-gun, 노출 프레임, 웨이퍼 홀더 및 이미지 패턴의 우수하고 정확한 정렬을 제공하는 초점 단계 (focus stage) 와 같은 고급 장치 구성 요소를 갖추고 있습니다. 또한, 실시간 프로세스 제어 및 피드백을 가능하게 하는 비전 머신 (vision machine) 이 특징입니다. DAINIPPON SCW-60A 도구의 고해상도와 정밀도는 photoresist 처리에 이상적입니다. 또한 [모양], [크기], [프레임 간 간격] 등의 매개 변수와 사용되는 광원의 양을 평가합니다. 높은 동적 범위는 복잡한 패턴에도 정확한 노출 수준을 보장합니다. E-gun은 또한 중요한 드리프트없이 정확한 노출 제어를 제공합니다. 또한, SCW-60A의 고정밀 초점 제어는 모든 포토 esist에 대한 정확한 노출 정렬을 보장합니다. 또한 빠른 정렬 기능 및 오류 감지 (error detection) 수정으로 효율성이 높습니다. 이 자산은 또한 프로세스 정렬 및 홍수 노출, 노출 전 (Pre-Exposure) 및 노출 후 베이킹 (Post Exposure Baking) 과 같은 포스트 처리 작업을 포함한 여러 작업을 가능하게합니다. DNS/DAINIPPON SCW-60A는 포토 마스크 패턴, 웨이퍼 레벨 프로세스 검증, 노출 후 베이킹, 빠른 열 처리 및 RIE (Reactive Ion Etching) 를 포함한 다양한 포토 esist 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 photomask, AP (advanced processor) 및 LCD 프로세스 요구사항의 최신 요구 사항을 충족하도록 기능과 기능이 지속적으로 업그레이드됩니다. 전반적으로 DAINIPPON SC-W60A는 IC 제조 및 마이크로 일렉트로닉스에 이상적인 안정적이고 고성능 포토 esist 모델입니다. 고급 장비 컴포넌트, 오류 감지 및 수정 기능, 빠른 정렬 기능 등을 결합하여 효율적이고 정밀한 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 제공합니다.
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