판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVQ #9148298

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVQ는 반도체 산업에서 고정밀 마이크로 피케이션 개발을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 균일 하고, 정확하고, 반복 가능한 코팅 패턴으로 포토 esist 물질을 웨이퍼 표면에 적용 할 수 있습니다. 또한 포토 마스크 (photomask) 의 컨투어 모서리를 따라 균일하고 정확한 선을 만들 수도 있습니다. 이 장치는 자동화된 기계식 정렬 머신 (mechanical alignment machine) 을 갖추고 있어 포토 esist 응용 프로그램의 정확성과 반복성을 보장합니다. 여기에는 이미지 드라이브, 내장 비전 도구, 로터리 스테이지, 선형 스케일 및 다양한 인코더 시스템이 포함됩니다. 에셋에는 원격 제어 및 모니터링 기능을위한 최첨단 PLC (Programmable Logic Controller) 도 장착되어 있습니다. 이 모델은 사용이 간편하며, 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 소형 설치 공간을 갖추고 있습니다. 또한, 반복 가능한 프로세스 기반 최적화 기능, 레시피 관리 장비, 온보드 데이터 프로세싱, 스토리지 시스템 등의 고급 지원 기능을 통합합니다. 이 단위는 또한 점도, 공정 온도, 피쳐가 다른 다양한 포토리스 연주자를 적용 할 수 있습니다. 이중 펌프 머신 (Dual-Pump Machine) 을 장착하여 원하는 형상을 생성하는 데 필요한 포토레스 (Photoresist) 재료를 정확하게 공급할 수 있습니다. 이중 펌프 도구는 또한 과도한 펌프로 인해 물질 오염에 대한 버퍼를 제공합니다. DNS SC-W60A-AVQ에는 정확성과 정확성을 위해 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 기판 표면의 변형을 측정하기위한 고급 기판 센서 (advanced substrate sensor) 와 수직 및 측면 운동을 동시에 허용하는 고급 수평 기판 단계 (advanced horizontal substrate stage) 가 포함됩니다. 에셋은 또한 다량의 포토 esist 물질을 처리 할 수 있습니다. 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델에는 포토레스 소재 (photoresist material) 의 품질이 보장되는 고급 재순환 여과 장비가 있습니다. 마지막으로, DAINIPPON SC-W60A-AVQ는 매우 정확하고 반복 가능한 포토 esist 장치의 생산을 위해 설계되었습니다. 가장 까다로운 마이크로패브라이케이션 (microfabrication) 및 반도체 (semiconductor) 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 최고의 정확성과 반복성을 제공합니다.