판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9251325

DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV
ID: 9251325
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Coater / Developer systems, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV Photoresist Equipment는 높은 정확도와 속도로 마이크로 전자 장치를 패턴화하는 데 사용되는 고급 석판 시스템입니다. 고급 박막 및 도량형 기술, 종합 재료 처리 시스템, 고정밀 광학 시스템, 포토 esist 프로세싱 등의 기능이 있습니다. 이 장치는 MEMS (Microelectromechanical system) 및 IC (Integrated Circuits) 생산 및 기타 프로세스에서 초미세 라인 및 페룰을 제조하는 데 이상적입니다. 이 기계에는 이중 파장 공명 흥분 레이저, 편광 유지 섬유 벨로우 및 전장 투영 렌즈가 장착되어 있습니다. 이를 통해 매우 복잡한 패턴에도 정확하고 반복 가능한 노출이 가능합니다. 이 도구에는 또한 멀티 축 (multi-axis) 스테이지가 장착되어 있어 광범위한 마이크로 광학 이미징 어플리케이션에 대해 정확하고 반복 가능한 동작이 가능합니다. 또한 기본 제공되는 인덱싱 (indexing) 기능을 통해 다양한 패턴에 걸쳐 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 일관된 저항 프로파일을 확보하기 위해 자산은 진공 대피 챔버 (vacuum evacuation chamber) 가있는 반자동 웨이퍼 처리 모델과 통합됩니다. 웨이퍼 노출 단계 (wafer exposure step) 동안, 장비는 최적의 저항 프로파일을 얻기 위해 웨이퍼를 조작하여 생산 수율이 높아집니다. 시스템은 또한 MEMS, IC, 하드 디스크 드라이브, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 등 다양한 응용 프로그램이있는 자기 도메인을 패턴화하는 데 사용될 수 있습니다. 이를 위해, 단위는 광학 분산 극계와 통합되어, 2 차원 단위의 자기장 강도를 동시에 측정합니다. 또한 화상 공정과 관련된 열 (thermal) 드리프트를 적극적으로 보상함으로써 온도 안정성 제어를 제공합니다. 또한, 이 기계는 동시 이미징 (shimaneous imaging) 및 도량형 (metrology) 작업도 가능하며, 이를 통해 사용자는 제조 된 장치의 품질을 설계 모델과 대조 할 수 있습니다. 이는 결과 제품의 정확성과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 전반적으로 DNS SCW-60A-AV Photoresist Tool은 광범위한 기능을 갖춘 고급 석판화 자산입니다. 고급 박막 및 도량형 기술, 종합 재료 처리 시스템, 고정밀 광학 시스템, 포토 esist 프로세싱 등의 기능이 있습니다. 자기 도메인과 높은 정확도와 속도를 패턴화하는 능력은 MEMS 및 IC 생산에서 초미세 라인 및 페룰을 제조하는 데 이상적인 선택입니다.
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