판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV는 집적 회로 및 마이크로 일렉트로닉스를 제조하는 데 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 직접 쓰기 전자 빔 리소그래피 도구를 기반으로합니다. 전자 빔에서 사용 가능한 서브 미크론 해상도를 사용하여 포토리스 스트 코팅 된 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 에 정확하게 쓸 수 있습니다. 이 장치에는 디자인, 패턴 레이아웃 및 제어 소프트웨어도 포함되어 있습니다. DNS SCW-60A-AV의 전자 빔을 사용하면 연속 쓰기 및 배치 모드 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 연속 쓰기 (continuous writing) 에서, 전자 빔은 연속 웹 패턴을 만들기 위해 일정한 속도로 photoresist를 직접 노출시키는 데 사용됩니다. 일괄 처리 모드 (batch mode) 에서는 전자빔 처짐 (electron beam deflection) 이 웨이퍼에 패턴을 생성하는 독특한 패턴 세트를 생성할 수 있습니다. 이 기계에는 오브젝티브 렌즈 (objective lens), 전자원 (electron source), 전자광 회로 (electro-optical circuit) 로 구성된 통합 광학 도구가 장착되어 있습니다. 이 광학 자산은 전자 빔 (electron beam) 에 초점을 맞추기 위해 사용되며, 다양한 해상도를 사용할 수 있습니다. 광학 모델은 자동으로 전자 빔 (electron beam) 을 조정하여 노출 된 영역에 대한 일정한 초점을 유지합니다. DAINIPPON SCW 60A AV는 최소 선 너비가 0.8 미크론 미만이고 최소 기능 크기가 0.4 미크론인 패턴을 쓸 수 있습니다. 또한, 전자빔을 정확하게 프로그래밍하여 지정된 피치로 라인 패턴을 생성 할 수있다. 이 기능 은 광자기사 가 정밀 한 수준 의 전자기 "에너지 '에 노출 되도록 하며, 그 결과 는 충실도 가 높은" 패턴' 이 된다. DNS SC-W60A-AV 에는 프로덕션에 사용될 때 성능을 최적화하도록 설계된 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 패턴 크기 확인 및 자동 레벨링과 같은 기능이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 정확하고 반복 가능한 패턴이 생성됩니다. 이 시스템에는 여러 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 가스 인클로저에는 압력 트랜스듀서, 솔레노이드 밸브 및 응급 압력 안전 밸브 (Emergency Pressure Safety Valve) 가 장착되어 있어 전자 빔 리소그래피 사용과 관련된 잠재적 위험성이 최소로 유지됩니다. 전반적으로 SC-W60A-AV는 복잡한 집적 회로 및 마이크로 일렉트로닉스 디자인을 만들기 위해 강력하고, 안정적이며, 안전한 포토 esist 장치입니다. 직접 쓰기 (direct write) 전자 빔 리소그래피 기능, 통합 광학 기계 및 제어 기능을 통해 정확하고, 정확하며, 반복 가능하며, 안전한 패턴을 최대 효율성으로 생산할 수 있습니다.