판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248932

DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV
ID: 9248932
웨이퍼 크기: 6"
Coaters, 6".
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV는 마이크로 일렉트로닉스 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 반도체 소자를 제작하는 동안 높은 수준의 정밀도와 정확도를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 또는 다른 반도체 기반 기판의 표면에 감광 물질을 뿌려 작동합니다. 이 감광 물질은 빛 노출에 빠르게 반응하여 서브 미크론 (sub-micron) 수준에서 컴포넌트, 회로 및 기타 피쳐의 형성에 사용될 수있다. 복잡한 집적회로 (Integrated Circuit) 와 소규모로 생산되어야 하는 다른 장치를 설계할 때는 이 높은 수준의 정확도와 정밀도가 필요합니다. DNS SCW-60A-AV 장치는 독점 특허 보호 광학 기계를 특징으로하며 126nm 자외선과 500nm 가시 조명을 처리합니다. 광원의 강도, 초점, 파장을 정확하게 제어함으로써, 공구는 원하는 컴포넌트를 형성하기 위해 포토리스 (photoresist) 물질을 기판에 정확하게 뿌릴 수있다. DAINIPPON SCW 60A AV 에셋은 얇은 웨이퍼로 작업 할 때 추가 안정성과 정확성을 위해 진공 척을 제공합니다. 척 (chuck) 은 포토 esist가 분사되는 동안 기질이 스테이지와 계속 접촉하도록 보장하며, 이는 기질이 구성 요소 디자인의 무결성을 변화시키고 방해하는 것을 방지합니다. 이 모델은 정확도를 더욱 향상시키기 위해 고급 (Advanced) 측정 및 포지셔닝 도구를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 제조 과정에서 기판의 크기, 간격 크기, 깊이 (depth of features) 를 정밀하게 측정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 제어 설정 (control setting) 을 제공하여 사용자가 특정 응용 프로그램에 대해 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 개별 3D 마이크로 정렬 기능, 다중 펄스 제어 및 시간 광 노출 제어가 포함됩니다. 또한 DNS SC-W60A-AV (Integrated Safety System) 에는 위험한 수준의 광도가 발생하면 프로세스를 중단하는 통합 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 즉, 운영자와 제품의 안전을 보장하는 추가 보호 기능을 제공합니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SCW-60A-AV는 반도체 장치의 정밀 제작을 제공하기 위해 설계된 안정적이고 정확한 포토 esist 장치입니다. 고급 광학 기계, 측정 및 포지셔닝 도구, 안전 도구를 통해 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 제조를 위한 안정적이고 필수적인 도구입니다.
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