판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9226210

DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV
ID: 9226210
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Coater, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV는 마이크로 일렉트로닉스 장치의 효율적인 처리를 위해 설계된 고급, 모든 기능을 갖춘 포토 esist 이미징 장비입니다. 마스킹, 포토 esist 에칭, 도금 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템은 AED (Automatic Exposure and Development Unit) 를 갖추고 있으며 다양한 응용 프로그램에 다양한 사진 마스크 옵티콘을 제공합니다. 이 기계는 안정성이 높은 이미징 환경과 높은 이미지 해상도를 제공하는 진공 저항 이미징 (vacuum resist imaging) 창을 갖추고 있습니다. 이 "이미징 '도구 는 폭넓은 노출 범위 를 가지고 있어서, 노출 용량 을 정확 하게 조절 할 수 있다. 마스킹을 위해 에셋은 최대 13 개의 opticon을 동시에 노출 할 수 있습니다. 또한 고효율 반사 거울을 갖춘 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 노출 모델과 정확한 노출 제어를 위한 레이저 (laser) 를 갖추고 있습니다. 직접 구동 장비는 또한 photomasking과 같은 기판 사진 패턴 응용 프로그램에 대한 정확한 노출 제어를 제공합니다. 에칭 모듈을 사용하여 시스템을 구성할 수도 있습니다. 에칭 모듈은 고급 2 단계 프로세스를 사용하여 photoresist를 기판에 에칭합니다. 첫 번째 단계 는 포토레시스트 (photoresist) 물질 을 상쇄 하고 두 번째 단계 는 "레지스트 '를 기판 으로부터 들어올린다. 이 에칭 모듈은 높은 화질을 제공하며, 에칭 속도를 완벽하게 제어합니다. 또한, 이 장치에는 고급 사진 저항기 (photo resist stripping machine) 도 장착되어 있습니다. 이 도구는 고주파 저항기 (High Frequency Resist Stripping Machine) 를 사용하여 기판에서 Photoresist를 스트립합니다. 이 자산은 스트리핑 속도 (stripping rate) 와 기판 손상 위험이 낮습니다. 이러한 모든 기능은 DNS SCW-60A-AV 모델을 마이크로 일렉트로닉스 장치의 이미징, 에칭 및 도금에 이상적인 솔루션으로 만듭니다. 첨단 기능은 종합적인 이미지 제어 (image control) 와 더불어 연구· 산업 분야에 이상적인 도구다.
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