판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507

DNS/DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment는 완전히 자동화 된 고속 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 장치는 4 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 전송, 스핀 코트 장치, 노출 장치 및 개발 장치) 로 구성됩니다. 웨이퍼 전송은 기판을 웨이퍼 로더에서 스핀 코트 장치로 이동합니다. 스핀 코트 (spin-coat) 장치는 기판 전체에 저항재를 균등하게 분배하도록 설계된 고정밀 장치입니다. 노출 장치에는 저항 코팅 된 웨이퍼의 패턴 화 된 영역을 선택적으로 노출시키는 데 사용되는 UV 광원이 포함되어 있습니다. 이 패턴화 된 영역의 노출을 촉진하기 위해 회전 (rotating) 단계도 갖추고 있습니다. 개발 장치는 노출되고 노출되지 않은 저항의 일부를 제거하도록 설계되었습니다. DNS SC-80BW-AV Photoresist Machine은 결함을 줄이고 처리량을 늘리기 위해 고도로 정확한 도구입니다. 에셋에는 직접 이미지 감지 및 조정 모델 (DISA) (Direct Image Sensing and Adjustment Model, DISA) 이 장착되어 있어 기판의 패턴화된 영역을 정확하게 노출시킵니다. 직접 이미지 감지 (Direct Image Sensing) 및 조정 (Adjustment) 장비는 웨이퍼의 움직임을 모니터링하고 그에 따라 UV 광원의 노출을 조정합니다. 이 시스템은 저항의 고르지 않은 코팅과 관련된 결함을 줄여 처리량 (throughput) 과 제품 품질 (product quality) 을 향상시킵니다. 이 장치에는 또한 저항재 (resist material) 의 최고 성능을 보장하기 위해 ARRS (Automatic Resist Replacement Machine) 가 장착되어 있습니다. ARRS는 기판 노출, 온도 및 습도를 지속적으로 모니터링합니다. 그런 다음 "레지스트 '물질 의 농도 와 조성 을 자동적 으로 조정 하여 최고 의 성능 을 보장 한다. 또한이 도구에는 동적 열 이미징 자산 (DTI) 이 장착되어 있습니다. 이 모델은 코팅 된 기판에서 열 활성을 감지하고 측정 한 다음 스핀 코트 단위 (spin-coat unit) 의 온도를 조정하도록 설계되었습니다. 이것은 기질의 고르지 않은 난방 또는 냉각으로 인한 결함 형성의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로 DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment는 강력한 자동 웨이퍼 처리 시스템으로, 처리량을 극대화하여 뛰어난 제품 품질을 보호하도록 설계되었습니다. 직접 이미지 감지 (Direct Image Sensing) 및 조정 (Adjustment), 자동 저항 교체 (Automatic Resist Replacement) 및 동적 열 이미징 시스템 (Dynamic Thermal Imaging System) 의 조합은 결함을 줄이고 처리량을 최적화하고 저항 재료의 효과를 극대화하는 데 도움이됩니다.