판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-80A-AVFG #9148240

DNS 화면 DNS/DAINIPPON SC-80A-AVFG 포토 esist 장비는 반도체 장치의 고해상도 제작을 위해 설계된 고급 반도체 장치 석판 시스템입니다. 핵심 기능은 멀티 채널 노출 기술로, finFET (FinFET) 및 메모리 어레이 (Memory Array) 와 같은 구조를 복제하기 어려운 높은 균일성과 코팅 반복성을 제공합니다. DNS SC-80A-AVFG 장치는 가변 포커스 줌 (variable focus zoom), f-theta 및 아스페릭 렌즈 (aspheric lenses) 를 포함하여 기판에 중점을 둔 다용도 렌즈 범위를 사용하여 도전하는 장치 형상을 위해 광범위한 패턴 형상을 만들 수 있습니다. 또한, 독특한 마스크 전송 측정 기계는 노출 된 패턴의 정확한 배치를 보장합니다. 또한 DAINIPPON SC-80A-AVFG 도구는 1.3 배 고해상도 포토 마스크 스캐너를 포함하며, 마스크 결함으로 인해 가능한 이미지 변형을 고려하여 최대 1 호 (arc-second) 의 마스크 간 정렬 정확도를 허용합니다. 이렇게 하면 마스크 간의 패턴 전송이 정확하므로 연속적인 리소그래피 단계에서 마스크 (mask) 를 효율적으로 사용할 수 있습니다. 또한, 멀티 채널 노출 기능을 통해 비-에치 패턴 (Uneched Pattern) 의 해상도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 높은 수준의 반복 패턴이 있습니다. 혁신적인 인쇄 최적화 알고리즘은 레티클 (reticle) 의 처리량을 최대화하면서 기존 리소그래피 시스템의 주요 한계인 동일한 크기의 패턴 (Patterns of identical size) 간에 미리 정의된 최적의 균일성을 보장합니다. SC-80A-AVFG는 또한 고유하고 복잡한 3D 구조를 만들기 위해 도전적인 패턴을 노출 할 수 있습니다. 최소 기능 크기는 40nm, 최대 기능 크기는 1000um (한 번의 노출) 입니다. 다중 파장, 높은 안정성 조명 자산은 모델 노출 패턴의 정확성과 반복성을 보장하며, 스펙트럼 필터링 기능을 통해 203 nm (최대 300nm) 의 UV 파장을 허용합니다. 마지막으로, 전문 소프트웨어 제품군은 진단 (diagnostics) 과 프로세스 제어 (process control) 를 결합하여 관찰 데이터를 정확하게 검사하고 분석합니다. 전체 자동 작업 (fully automated operation) 과 실시간 검토 (interactive) 모드를 제공합니다. 이는 최첨단 제품 개발이 효과적인 방식으로 최적화되도록 도와 주며, 이 장비를 현대 반도체 소자의 도전적인 리소그래피 (lithography) 프로세스에 이상적인 솔루션으로 만든다.