판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-200W-AV #9210334

DNS / DAINIPPON SC-200W-AV
ID: 9210334
웨이퍼 크기: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-200W-AV는 생산 환경을 위해 설계된 포토 esist 노출 장비입니다. 고해상도 광학 이미징 디자인과 고급 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 photolithography 프로세스 동안 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. DNS SC-200W-AV는 고해상도 프로젝션 렌즈 어셈블리를 사용하여 노출 과정에서 뛰어난 이미징 정확도를 제공합니다. 렌즈는 무채색 더블릿 및 평면 필드 렌즈를 포함하여 8 개의 교환 가능한 요소로 구성됩니다. 이것은 뛰어난 이미징 안정성과 반복성을 보장합니다. 이 장치에는 안정적인 성능을 위해 기계식 자동 초점 교정 기계도 포함되어 있습니다. 이 도구에 포함된 이미징 (Imaging) 소프트웨어에는 정확한 노출 제어가 가능한 고유한 알고리즘이 포함되어 있습니다. 여기에는 모자이크 이미지 스티칭 (mosaic image stitching) 과 같은 기능이 포함되어 있어 동일한 개체의 여러 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이를 통해 전체 목표 영역에 대한 지속적인 범위가 보장됩니다. 에셋에는 고급 프로그래밍 가능한 기계식 셔터 (mechanical shutter) 가 포함되어 있어 정확한 노출 타이밍이 가능합니다. DAINIPPON SC-200W-AV는 노출 과정에서 고급 기판 보호를 제공합니다. 이 모델에는 자동화 된 주변광 제어 장비 (photoresist) 가 포함되어 있어 포토 esist가 너무 노출되지 않습니다. 또한, 이 "시스템 '에는" 노즐' 증착 장치 도 포함 되어 있는데, 이 장치 는 광유전물 을 "웨이퍼 '에 정확 하게 적용 시킨다. 이 기계는 또한 정확성을 보장하기위한 멀티 헤드 자동 초점 도구를 갖추고 있습니다. 일관성 있고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 SC-200W-AV는 고급 검사 및 교정 기능을 제공합니다. 오류의 노출된 레이어를 모니터링하는 자동화된 품질 제어 (Quality Control) 자산이 포함되어 있습니다. 또한, 이 모델에는 레이아웃의 정확한 추적 및 조각을 위한 자동화된 레티클 (reticle) 정렬 장비가 포함되어 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SC-200W-AV는 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 고급 포토 esist 노출 시스템입니다. 첨단 옵틱과 소프트웨어를 통해 포토레시스트를 매우 정밀하게 웨이퍼에 정확하게 이미지화하고 노출시킬 수 있습니다 (영문). 고급 보호/검사 (Advanced Protection and Inspection) 기능을 통해 운영 환경에서 사용할 수 있으므로 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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