판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-200W-AV #9157626

DNS / DAINIPPON SC-200W-AV
ID: 9157626
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Coater, 8" SMIF, SCx2/HPx5/CPx2/2PCPx2 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-200W-AV는 집적 회로 및 반도체 장치 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 기판에서 포토 esist의 정확하고 정밀도 높은 코팅을 가능하게하도록 설계되었습니다. DNS SC-200W-AV 는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하는 컴퓨터 제어 시스템으로, 높은 수준의 자동화 및 프로세스 제어를 제공합니다. DAINIPPON SC-200W-AV 포토 esist 유닛은 고급 포토 리토 그래피 기술을 사용하여 포토 esist를 웨이퍼 또는 기판에 정확하게 적용합니다. 코팅 헤드 (coating head) 의 정밀 이동을 제공하는 고성능 스테퍼 모터 (stepper motor) 가 장착되어 포토리스 연주자의 균등하고 일관된 적용을 보장합니다. 코팅 헤드는 포토 esist 물질을 정확하게 적용하기 위해 매우 작은 노즐을 사용합니다. 이 기계는 또한 LED 조명 도구 (LED lighting tool) 가 장착 된 매우 고해상도 프로젝션 카메라가 있어 감광 물질을 정확하게 정렬할 수 있습니다. SC-200W-AV는 또한 광범위한 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 다중영역 공정 제어 자산 (Multi-Zone Process Control Asset) 을 통해 여러 센서 네트를 사용하여 포토리스 (Photoresist) 코팅 프로세스와 환경 조건을 모두 모니터링합니다. 또한, 오염 물질 감지에 사용할 수있는 X-ray 모니터 (옵션) 가 포함되어 있습니다. 단일 영역 온도 검출기 (single-zone temperature detector) 를 사용하여 광저항 물질의 온도를 제한하여 일관된 품질을 보장 할 수도 있습니다. DNS/DAINIPPON SC-200W-AV 포토 esist 모델에는 다양한 소프트웨어 도구가 포함되어 있어 사용자가 프로세스 데이터를 캡처 및 공유할 수 있습니다. 여기에는 설계 및 모델 작성을 위한 CAD 도구 모음과 설치, 설치, 운영을 위한 직관적인 웹 기반 GUI가 포함됩니다. 전반적으로 DNS SC-200W-AV 포토 esist 장비는 집적 회로 생산 및 반도체 장치 제조를 위해 정확하고 정밀한 코팅을 제공하는 고급 고성능 시스템입니다. 다양한 기능과 자동화 (automation) 기능을 갖추고 있으며, 다양한 프로세스 모니터링 툴을 통해 한결같이 고품질 (high-quality) 제품을 사용할 수 있습니다.
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