판매용 중고 DNS / DAINIPPON RF3S #9392802

DNS/DAINIPPON RF3S는 석판 도구, 기계 및 소모품의 유명한 공급 업체 인 DNS SCREEN에서 제조 한 포토 esist 개발 장비입니다. 마이크로 서킷, MEMS (micro-electro-mechanical system) 및 기타 미크론 스케일 구조의 생산에 이상적입니다. DNS RF3S 포토 esist 개발 시스템은 세 가지 구성 요소, 즉 저항 재료, 개발 단위 및 스트리핑 장치로 구성됩니다. 저항 물질은 스핀 코팅 (spin-coating) 또는 화학 증기 증착 기법을 사용하여 기질에 적용 된 다음 빛에 노출된다. 원하는 패턴에 따라, 광원은 마스크 또는 광원에서 직접 생성됩니다. 빛의 노출 (light exposure) 은 저항물 (resist material) 의 구조가 바뀌어 기판에 패턴 화 된 저항막 (resist film) 이 생긴다. 그런 다음, 개발 된 장치 는 "레지스트 '물질 을 처리 하여 노출 된 부분 을 제거 하고, 나머지" 패턴' 저항제 는 기판 에 선택적 으로 전달 될 수 있다. 그런 다음, 스트리핑 장치 (stripping unit) 를 사용하면 필요없는 저항이 기판에서 제거되고, 패턴화된 저항만 기판에 남게 됩니다. DAINIPPON RF3S 포토 esist 개발 장치의 장점은 다양합니다. 라인/공간 해상도는 각각 0.2 미터 (0.008mil) 및 0.1 미터 (0.004mil) 인 뛰어난 패턴 정의와 해상도를 제공합니다. 또한 고도의 평면 화 (planarization) 를 가능하게하며, 이는 현대 장치 생산에 필수적입니다. 또한 이 기계는 뛰어난 사용 편이성을 제공하며 경제적입니다. 또한 j-OTF 호환 석판 도구에 원활하게 통합 할 수 있습니다. 마지막으로, QC 모니터를 내장하여 인쇄된 저항 패턴을 쉽게 검사할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 결함 해상도 (defect resolution) 와 이미지 품질 (image quality) 을 동시에 확인할 수 있습니다. 또한 해상도 0.2 "m '(0.008mil) 의 패턴 참조에 자동으로 정렬하여 고정밀 정렬이 특징입니다. 이러한 모든 기능은 마이크로 전자 장치 제조에 적합한 선택입니다.