판매용 중고 DNS / DAINIPPON MST-300A #9026249

DNS/DAINIPPON MST-300A는 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에서 최적의 해상도와 해상도의 균일성을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에서 직접 이미징 (direct imaging) 시스템에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 MSTD (multi-step thin film deposition) 라는 자동 화학 공정을 특징으로하며, 비활성 가스를 사용하여 포토 esist의 정확한 레시피를 웨이퍼에 전달하여 원하는 패턴을 올바르게 개발 할 수 있습니다. 비활성 가스는 고해상도 이미징 및 균일성을 허용하는 고순도 소스입니다. MSTD 프로세스는 24 인치 웨이퍼에서 +/- 0.5 µm의 반복 가능성을 가진 이미지를 생성합니다. DNS MST-300A에는 또한 정밀 이온 폭발을 사용하여 광미크론 (photoresist) 을 제어되고 정확한 방식으로 계층화하는 파워 부스터 이온 임플란터 (Power Booster Ion Implanter) 가 있습니다. 이 기계는 최대 4 개의 이온 임플란테이션을 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 25mm 수은 아크 램프 (mercury arc lamp) 가 장착 된 고급 노출 도구가 장착되어 있으며, 고해상도 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. DAINIPPON MST-300A에는 노출 간 신속한 전환을 위해 여러 마스크를 저장할 수있는 포토 마스크 챔버 (photomask chamber) 가 내장되어 있으며, 자산은 동시에 최대 4 개의 노출을 수행 할 수 있습니다. MST-300A는 또한 최적화된 에칭 및 클리닝 모듈을 갖추고 있어 효율적이고 효과적인 포토 esist 제거를 보장합니다. 이 모듈에는 효과적인 먼지 제거 및 잔류 (residue) 제거를위한 자동 웨이퍼 워시 모듈이 장착되어 있습니다. 마지막으로, 모델은 고강도 백사이드 클리닝 옵션을 통합합니다. 이렇게 하면 처리 전 에 "웨이퍼 '뒷면 을 철저 히 청소 할 수 있다. 이를 통해 결국 최고 품질의 결과가 달성됩니다. DNS/DAINIPPON MST-300A는 최첨단 포토 esist 장비로, 다양한 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에서 고품질 이미지와 솔루션을 생산할 수 있습니다. 마이크로전자 작업에서 고정밀도 이미징에 중점을 둔 조직에 이상적인 시스템입니다.