판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80B #9400647
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ID: 9400647
(2) Coater / (2) Developer system
Type: Open cassette, 8"
THC
Chemical cabinet
ETU
Coater:
(6) PR Nozzles unit per spin (IWAKI Bellow pump)
EBR
RRC Nozzle
Cup rinse
Back rinse
Developer:
DEV1 / (2) Nozzles
Pre-wet nozzle
DI Rinse 1/2
Back rinse
HP
CP
LPAH / AH.
DNS/DAINIPPON 80B는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비로, 고품질의 장치 저항 패턴화를 위해 설계되었습니다. 이 "시스템 '은 특정 기판 에" 포토레지스트' 층 의 노출 과 발달 을 정확 하게 제어 할 수 있는 정교 한 "시스템 '이다. DNS 80B Photoresist Unit은 펄스 레이저 소스, 정확한 마스킹 및 개발 기술 세트, 기판 가열 응용 프로그램을 사용하여 최적의 결과를 생성합니다. 이 기계 는 직경 이 최대 6 "인치 '인 기판 을, 폭 이 10" 미크론' 이나 낮게 분해 할 수 있다. 이 도구는 또한 기판 위의 포토레지스트 레이어 (photoresist layer) 의 정밀한 정렬을 지원하는 독특한 기능과 기질에 해를 끼치지 않고 포토레시스트의 제어 된 노출을 제공합니다. 이 과정 을 시작 하려면, 광소시스트 (photoresist) 를 적용 하기 전 에 기판 을 청소 하고 처리 해야 한다. 기판 이 준비 된 후, 원하는 "패턴 '을 형성 하기 위하여" 마스킹' 단계 가 벌어진다. "다이니폰 '80B 의" 레이저' 원 은 정밀 한 양 의 빛 "에너지 '를 선택 된 기판 에 적용 시키며, 광저항 층 을 가열 하고 치료 하고, 포토레지스트 내 에 세부적 인 양상 의" 패턴' 을 만든다. 레이저 소스가 트리거 및 조정 된 후 photolithography가 시작됩니다. 광원에 노출된 기질의 영역은 굳어졌고, 포토 마스크 (photomask) 와 함께 숨겨진 영역은 부드럽게 유지됩니다. 그 다음 에 "포토레지스트 '가 개발 되면, 부드럽고 단단 한" 포토레지스트' 부위 가 노출 되어 기질 의 여러 부분 에서 떨어져 나가게 된다. 자산의 난방 응용 프로그램은 개발 후 프로세스 역할을합니다. 그것 은 광물질 을 식각 할 때, 그리고 기질 물질 을 보호 할 때, 정밀도 를 증진 시킨다. 또한 장치가 다음 제조 단계 (manufacturing step) 로 이동하기 전에 원하는 모든 포토레시스트 (photoresist) 영역을 완전히 제거하는 데 도움이 됩니다. 80B는 반도체 장치 제조를위한 강력하고 정확한 도구입니다. 레이저 소스 (laser source), 정밀 마스킹 (Precise Masking) 및 기판 가열 기능을 통해 포토리스 (photoresist) 패턴 처리 과정에서 높은 정확도를 달성하기에 이상적인 모델입니다. 전자장치 개발의 필수요소다. 반도체 제조에 중요한 기술이다. 전자장치 개발의 핵심 요소다.
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