판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80B #9022469

DNS/DAINIPPON 80B는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 고성능 자동 포토 esist 코팅 장비입니다. 매우 정확하고 균일 한 저항 적용을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 자동 저항 분배, 웨이퍼 매핑, 수동 또는 자동 웨이퍼 전송, 구성 가능한 동작 등 여러 기술을 결합합니다. 이 장치의 자동 저항 분배 기술 (Automatic Resist Dispense Technology) 은 최고 수준의 효율성으로 다양한 핫/콜드 저항을 정확하게 측정, 제어 및 분배하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 표면에 대한 균일 한 저항 범위를위한 전방위 디스펜스 헤드 (omni-directional dispense head) 를 포함한 다양한 디스펜스 헤드 (dispense head) 가 특징입니다. 기계 는 "컴퓨터 '에 의하여 조종 되며, 연산자 들 은 분배 매개변수 를 조정 하고 감시 할 수 있다. DNS 80B의 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능은 레이저 스캐너를 사용하여 웨이퍼의 레지스트 레이어를 정확하게 측정하고 매핑합니다. 이렇게 하면 코팅 프로세스 (coating process) 동안 불일치를 없애고 각 웨이퍼에 대해 사용자정의 매핑 (custom mapping) 매개변수를 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 전송 도구 (wafer transfer tool) 는 디스펜스 스테이션에서 노출 챔버로 수동으로 또는 자동으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 자동화된 에셋은 로봇 암 (robotics arm) 을 사용하여 웨이퍼를 빠르게 이동시키는 반면, 수동 모델에는 인간 연산자가 필요합니다. 마지막으로 DAINIPPON 80B에는 구성 가능한 캐비테이션 장비도 포함되어 있습니다. 캐비테이션 (Cavitation) 은 웨이퍼 표면에서 과도한 저항을 제거하는 과정이며, 필름 균일성을 향상시키는 데 도움이 될 수 있습니다. 시스템의 캐비테이션 장치 (cavitation unit) 는 캐비테이션 프로세스의 강도를 제어하도록 구성될 수 있으며, 따라서 사용자는 저항 균일성을 정확한 사양에 맞게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, 80B는 반도체 웨이퍼에서 일관되고 균일 한 저항층을 생산하도록 설계된 안정적이고 정확한 자동 포토리스 스틱 코팅 머신입니다. 높은 정밀 분배, 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 및 캐비테이션 (cavitation) 기능을 통해 웨퍼를 코팅하는 안정적이고 효율적이며 정확한 방법을 제공합니다.