판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80A #9162941

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DNS / DAINIPPON 80A
판매
ID: 9162941
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Developer system, 6" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A는 박막 포토 esist 코팅 개발을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 MEMS/MOEMS, photolithography, microelectronics, optical coating 등 다양한 응용 프로그램에 대해 일관되고 재현 가능한 성능을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 모든 기능을 갖춘 포토 esist 스프레이 챔버와 여러 개의 PES (Precise Evaporation Station) 로 구성되어 있으며, 얇은 필름 포토 esist의 균일하고 일관된 코팅입니다. 스프레이 챔버 (spray chamber) 는 반응 환경의 온도와 습도를 모두 제어하도록 설계되었으며, 감광 물질의 균등 한 분포를 제공한다. 또한 적절한 증착 매개 변수를 보장하기 위해 진공 연동이 특징입니다. 다중 PES (Multiple PES) 는 박막 포토 esist 레이어 두께를 정확하게 세밀하게 튜닝할 수 있도록 정확한 레이어 증착 제어를 제공합니다. 또한 DNS 80A 기기에는 고급 유체 (Advanced Fluid) 및 가스 제어 장치 (Gas Control Machine) 가 포함되어 있어 공구에 최대 7 개의 원자로에 대한 정확한 가스 흐름 및 압력 제어를 제공합니다. 이 자산은 초고순도 프로세스로 구성된 반응 속도 (reaction rate) 및 레이어 증착 매개변수 (layer deposition parameters) 를 정확하게 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. 스프레이 챔버 및 PES 외에도, DAINIPPON 80A에는 박막 층의 균일 한 가열을위한 정밀 제작 베이킹 플라스크도 포함되어 있습니다. 오븐 (ovens) 은 각 레이어의 온도를 개별적으로 조절하여 고른 베이크 프로파일 (bake profile) 을 보장하고 열로 인한 손실을 방지하도록 설계되었습니다. 이것은 또한 기탁 된 박막 저항이 균일하고 일관성을 보장합니다. 80A에는 고급 컴퓨터 컨트롤러 (Advanced Computer Controller) 모델도 포함되어 있는데, 이를 통해 사용자는 균일 한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램에 필요한 다양한 조건을 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 마이크로프로세서 기반 컨트롤러를 사용하면 스프레이 노즐 압력, 코팅 속도, 레이어 두께, 온도 등의 매개변수를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 변화하는 조건에 신속하게 적응하고 운영 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON 80A는 강력하고 신뢰할 수 있는 박막 포토리스 (Thin-film photoresist) 장비로, 광범위한 어플리케이션에 일관되고 재현 가능한 성능을 제공합니다. 고급 포토레스 코팅 (photoresist coating), 베이킹 (baking) 및 컴퓨터 컨트롤러 시스템을 결합하여 DNS 80A는 매우 광범위한 응용 프로세스에 대한 정밀 계층 증착 제어를 제공 할 수 있습니다.
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