판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80A #9162935

DNS/DAINIPPON 80A는 다른 기판에 얇은 포토 esist 필름을 정확하게 배치하도록 설계된 고성능, 매우 정밀한 포토 esist 코팅 장비입니다. 적외선 (IR) 조명을 사용하여 기판을 균일 하고, 안정적이며, 정확하게 분산 된 저항 물질에 노출시키는 정교한 시스템입니다. 현대 반도체 설계 및 제작에 널리 사용되었습니다. 이 장치는 3 개의 독립적 인 모듈 (주 주택, 조명 소스 및 분배 모듈) 로 구성됩니다. 주요 주택 장치에는 노출 램프, 셔터 및 제어 기계가 있습니다. 공구에 사용되는 IR 최적화 된 초고밀도 램프 (IR optimized super high intensity lamp) 는 균일하고 안정적인 연속 광원을 제공하며 제어 강도로 기판에 빛을 제공합니다. "셔터 '는 자동" 모오드' 와 수동 "모오드 '에 사용 되도록 설계 되었으며," 코우팅' 과정 중 에 안정적 이고 신뢰 할 만한 빛 의 응용 을 보장 해 준다. 고급 전동 제어 장치 (advanced motorized controls) 는 포토 esist를 기판에 노출시키는 데 필요한 민감한 타이밍 요소를 담당합니다. 조명 소스 모듈은 DNS 80A 자산의 핵심입니다. 그것 은 정해진 강도 "레벨 '로" 기판' 에 빛 을 전달 할 수 있는 전자 광학 "소오스 '로 구성 되어 있다. 이 모델에는 일련의 조절 가능한 램프, 필터 (filter) 및 렌즈 배열 (lens array) 이 포함되어 있으며, 기판에서 광원의 입사각 및 위치를 변경하는 데 사용됩니다. 이 모듈은 또한 온도 조절 장비 (Temperature Control Equipment) 를 갖추고 있으며, 일관된 결과를 얻기 위해 소스를 최적의 온도로 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 분배 모듈은 포토 esist 물질을 기판에 정확하고 균일하게 전달하는 데 사용된다. 이것은 일련의 기계적으로 조절 가능한 노즐 헤드 (nozzle head) 에 의해 조절되는 정밀한 분사 프로세스로 수행되며, 이는 여러 개의 포토 esist 레이어를 순차 레이어에 적용 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 정교한 전자 모니터링 (electronic monitoring) 및 피드백 루프 (feedback loop) 를 갖추고 있어 포토리스 레이어의 정확한 적용을 보장합니다. 결론적으로, DAINIPPON 80A는 정교하고 신뢰할 수있는 포토 esist 코팅 머신으로, 포토 esist 레이어의 뛰어난 정밀도와 균일 한 증착을 제공합니다. 이 도구 는 정밀 한 광학 "소오스 '와 전자제어" 시스템' 과 같은 고급 기능 을 통합 함 으로써, 기판 에 일관성 있고 신뢰 할 만한 사진 "코우팅 '을 전달 할 수 있다. EMC 는 최신 기술을 사용하여 고객이 우수한 포토레지스트 (photoresist) 시스템에 액세스할 수 있도록 하고 있습니다.