판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80A #9134994

DNS / DAINIPPON 80A
ID: 9134994
웨이퍼 크기: 8"
Photoresist (2) coaters / (2) Developers system, 8" Dual block IFB.
DNS/DAINIPPON 80A는 반도체 제조 공정의 리소그래피 단계에서 인쇄 품질을 향상시키기 위해 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템에는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판 표면에 적용되는 빛에 민감한 액체가 있습니다. 빛이 이 액체에 노출되면, 포토레시스트는 활성화되어 표면에 남아 있습니다. 그런 다음, 이 저항을 사용하여 리소그래피 프로세스 동안 표면의 특정 영역을 차단합니다. DNS 80A 포토 esist 유닛은 고유 한 제식을 사용하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 제형의 핵심에는 울트라 바이올렛 (UV) 광을 포함한 다양한 조건에 내성이있는 아크릴 중합체 인 폴리메틸 메타 크릴 레이트 (PMMA) 를 기반으로하는 광전자가 물질이다. 이 특정 포토 esist는 뛰어난 광학 선명도, 고해상도, 뛰어난 필름 균일성 및 우수한 접착 특성을 제공합니다. 또한, 이 기계는 양수 (positive) 및 음수 (negative) 패턴 시스템과의 대량의 호환성을 제공합니다. photoresist 구성 요소 외에도 DAINIPPON 80A 도구에는 최적의 석판 공정을 제공하도록 설계된 여러 가지 다른 요소가 포함되어 있습니다. 이러한 구성 요소에는 photoresist 스트리퍼, 얇은 에이전트, 수성 개발자 및 개발자 보충 솔루션이 포함됩니다. 광저항 스트리퍼 (photoresist stripper) 는 노출 후 패턴에서 저항을 제거하기 위해 사용되며, 얇은 제제 (thinning agent) 는 코팅 과정에서 입자 또는 연료를 줄이는 데 도움이됩니다. 수성 개발자는 기판에 패턴을 화학적으로 "에치 (etch)" 하는 데 도움이되고, 보충 용액은 여러 주기에 걸쳐 제형의 재생성을 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 80A 포토레시스트 자산은 석판 제조 과정에서 고해상도 인쇄를 달성하는 안정적이고 효율적인 방법입니다. 고급 PMMA 포토 esist를 사용하여이 모델은 탁월한 선명도, 균일성 및 접착 특성을 제공합니다. 또한, 얇은 에이전트 (thinning agent), 개발자 (developer) 및 보충 (replenishment) 솔루션을 포함한 다른 컴포넌트는 패턴이 기판에 정확하게 인쇄되도록 도와줍니다. 이러한 기능과 구성 요소를 함께 사용하면 DNS/DAINIPPON 80A가 리소그래피 프로그램에 이상적인 선택이 됩니다.
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