판매용 중고 DNS / DAINIPPON 80A #293830591

DNS/DAINIPPON 80A는 사용자가 웨이퍼에 패턴을 정확하게 노출 할 수있는 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 높은 안정성, 정확성 및 추가 다기능 기능으로 구별됩니다. 이 장치는 Exposer Head Module, Optical Machine Module 및 Mechanical Components Module로 구성됩니다. Exposer 헤드 모듈에는 두 개의 독립적 인 대칭 정렬 눈이 있습니다. 이러한 각 눈에는 2um 및 0.1 um 반복 해상도의 정확한 자동 정렬 기능이 있습니다. 해상도는 0.5um에서 3um 사이에서도 조정 할 수 있습니다. 또한, Exposer 헤드 모듈에 2 개의 미러가 포함되어 전체 웨이퍼에 걸친 빛의 짝수 분포 (even distribution of light) 를 허용합니다. 광 (optical) 도구 모듈은 마스크를 웨이퍼에 효율적으로 비출 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 25mm 및 50mm 등 다양한 렌즈와 함께 사용하도록 설계된 대구경 조명 광학 자산을 활용합니다 (예: 25mm 및 50mm). 이 모델은 웨이퍼에 균질 한 광도로 밝은 필드 조명을 생성합니다. 또한, 광학 장비 모듈 (Optical Equipment Module) 은 한 번에 웨이퍼의 넓은 영역을 스캔하기위한 로컬 아연 도금계 스캐너 및 회전 단계를 특징으로합니다. 기계식 구성 요소 모듈은 광학 시스템 모듈과 연동하여 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 웨이퍼의 정확한 위치를위한 포지셔닝 가이드 (positioning guide) 와 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 제공되어 안정성을 보장합니다. 또한 기계식 컴포넌트 모듈 (mechanical components module) 에는 정렬 헤드와 웨이퍼 사이의 정확한 거리를 제어하는 높이 조정 피쳐가 포함되어 있습니다. DNS 80A 포토 esist 유닛은 웨이퍼 패턴화에 신뢰할 수 있고 정확한 접근 방식을 제공합니다. 이 기계는 높은 안정성, 정확성, 추가 다기능 기능으로 인해 다양한 유형의 응용 프로그램의 요구 사항을 충족합니다. 고급 기능과 기능으로, 이 도구는 매우 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 패턴화하는 데 이상적입니다.