판매용 중고 DNS / DAINIPPON 60A #9252552

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DNS / DAINIPPON 60A
판매
ID: 9252552
(2) Developer system.
DNS/DAINIPPON 60A는 반도체 제조 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광전자 (photoresist) 는 자외선에 민감하며 반도체 구조에서 마이크로 서킷 (microcircuit) 및 기타 미세한 특징을 패턴화하는 데 사용되는 유기 필름이다. DNS 60A는 다른 유형의 포토 esist보다 우수한 에칭 특성을 갖는 B 형 수지 시스템입니다. 이 장치는 A 형 액체 포토 레지스트, B 형 파우더 코팅 포토 세스트 및 다크 그레이 개발자로 구성됩니다. 액체 사진 저항은 스핀 코팅 (spin coating) 에 의해 적용되고, 분말 코팅 된 형태는 기판에 뿌려진다. 그런 다음 다크 그레이 개발자 (dark gray developer) 는 원하는 구조를 설명하는 필름에서 패턴을 만드는 광 소시스트 (photoresist) 를 선택적으로 제거하는 데 사용됩니다. DAINIPPON 60A 기계는 패턴의 고해상도 및 수직 벽 프로파일이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. A 형 액체 사진 저항은 1:1 정도의 종횡비와 0.2 미크론의 미세한 선 너비를 가진 기능을 생성 할 수 있습니다. B 형 분말 코팅 포토 esist는 종횡비가 10:1 이상인 벽 프로파일을, 선 너비가 0.05 미크론까지 생성 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 좋은 에칭 저항을 나타냅니다. 즉, 기판에 한 번 패턴 화 된 피쳐는 에칭 프로세스 동안 그대로 유지되어 치수 정확도가 향상됩니다. 또한, 자산은 끓는점 아래의 온도에서 패턴 화 될 수 있으며, 이는 반도체 처리에 중요한 요소입니다. 전반적으로 60A 포토레시스트 (photoresist) 모델은 상세한 고해상도 패턴을 생산하기 위한 안정적이고 비용 효율적인 장비입니다. 탁월한 벽면 프로파일 특성, 에칭 저항 (etching resistance) 및 저온 패턴화 (low-tempering patterning) 기능을 통해 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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