판매용 중고 DNS / DAINIPPON 60A #9188819

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ID: 9188819
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON 60A는 넓고 큰 기판에 얇고 균일 한 코팅을 빠르게 적용 할 수 있도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉 제조 (예: 반도체 웨이퍼 제조) 의 요구에 대한 최첨단 솔루션입니다. 이 장치는 고출력 UV (Ultra-Violet) 광원을 포함한 일련의 구성 요소로 구성되며, 이는 증착 공정의 속도를 높이고 필름 두께를 제어 할 수 있습니다. 균일 한 증착을 보장하기 위해 광원에는 빔 인-플레인 (in-plane) 을 이동하고 최적의 커버리지를 위해 회전하는 스캐너가 장착되어 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 에는 여러 개 의 광학 "필터 '가 포함 되어 있는데, 이" 쿼츠' 창문 은 선택 된 파동 길이 범위 의 전송 을 최적화 한다. 또한, 공구는 큰 기판에서 짝수, 재생산 가능한 코팅이 가능한 온도 조절 기능으로 구성됩니다. 에셋은 또한 핫/콜드 큐링 (hot/cold curing) 을 용이하게하며, 이는 두께 균일성과 포토 esist 필름의 안정성을 더욱 향상시킵니다. 이 모드에서, 프로세스는 핫 증기 (hot vapours) 의 적용으로 시작되고, 기판을 정해진 온도로 냉각시킨다. 이 모든 특징은이 포토 esist 모델이 대형 웨이퍼 생산에 이상적입니다. 코팅이 적용되면 UV 광원에 노출되어 DuPont 625F 또는 OSRAM TO/T2와 같은 개발자와 함께 개발 될 수 있습니다. 일반적으로 photoresist가 표시되고 불투명도가 있습니다. 그러나 포토 esist DNS 60A (photoresist DNS 60A) 는 인간의 눈에 거의 보이지 않도록 설계되어 정확한 필름 증착을 보장합니다. 통합 (integrated) 필터를 통해 이 장비가 지원하는 우수한 저항성 (excellent resist properties) 뿐만 아니라, 설계도 다양한 프로세스에서 사용할 수 있는 상당한 유연성을 제공합니다. 예를 들어, 설계는 저온에서 고온에 이르기까지 다양한 맞춤형 솔루션을 지원합니다. 이 시스템은 또한 초고해상도 증착을 위해 전자 빔과 결합하도록 설계되었습니다. DAINIPPON 60A (DAINIPPON 60A) 는 웨퍼 제작에 적합한 기능과 응용 프로그램을 갖춘 안정적이고 다목적 인 고급 포토 esist 장치입니다. 이 기계는 증착 속도 증가, 필름 증착의 균일 성 향상, 뛰어난 유연성을 제공합니다. 얇고 균일 한 코팅을 가능하게하며 섬세하거나 복잡한 기능을 정확하게 증착 할 수 있습니다. 반복되는 결과와 결합된 고해상도는 안정적인 작동과 일관된 품질을 제공합니다. 60A를 최신 마이크로 일렉트로닉스 제조를위한 이상적인 솔루션으로 만드십시오.
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