판매용 중고 DNS / DAINIPPON 200W #9277847

DNS/DAINIPPON 200W는 반도체 장치 개발을 위해 설계된 고해상도, 포토리스 코팅 장비입니다. 분석 (Analytical) 및 운영 (Production) 애플리케이션을 모두 처리하는 데 적합한 유연하고 효율적인 시스템입니다. DNS 200W 장치는 자동화와 결합 된 LLI (Advanced Liquid-Resist Immersion Lithography) 기술을 사용하여 다양한 웨이퍼 프로세싱에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 기계는 멀티 레이어, 다중 프로세스 포토 esist 코팅을 사용하여 코팅 균일성 및 박막 코팅 특성을 향상시킵니다. 또한, 독특한 마이크로 제작 기술을 사용하여 저항성 코팅 두께 (resist coating thickness) 또는 표면 거칠기의 국소 차이로 인해 최소 라인 너비 변화를 보장합니다. 이 도구는 편리한 프로세스 반복성을 위해 자동 웨이퍼 로딩 설계를 갖추고 있습니다. 에셋에는 시간, 온도, 압력, 기타 중요한 프로세스 데이터를 표시하는 컬러 LCD 모니터가 장착되어 있습니다. 또한, 디자인 힌트를 지원하는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 패턴 설계가 쉽고 빨라집니다. 이 모델은 저항성 (resist) 특성을 잃지 않고 뛰어난 저항성 접착력을 제공하여 다른 포토리스 (photoresist) 시스템보다 더 높은 라인 해상도와 일관된 저항성 프로파일을 제공합니다. 이 장비는 또한 양성 (positive) 및 음성 (negative) 금속에서 산 (acid) 및 수성 저항 용액에 이르기까지 다양한 사진 저항 코팅을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 높은 정확도와 자동 실리콘 웨이퍼 장착 프로세스를 가능하게하기위한 로봇 제어 웨이퍼 처리 기술을 갖추고 있습니다. 깨끗한 환경 보호를 위해 DAINIPPON 200W 장치를 설계 할 때 특별히 고려되었습니다. ··· 청정실 에서 광전도 처리 의 질 을 보장 하기 위해, 기계 에는 여러 가지 "필터 '와" 디텍터' 가 장착 되어 있어서, 청정실 의 먼지 입자 와 습도 를 계속 모니터링 한다. 합쳐서, 200W 도구는 다양한 웨이퍼 처리를 위해 다양한 코팅 재료를 갖춘 고급, 사용자 친화적 인 포토리토그래피 (photolithography) 처리 자산을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling) 와 뛰어난 저항성 접착 (excellent resist adhesion) 을 통해 깨끗한 환경에서 고해상도 패턴을 개발할 수 있으므로 반도체 장치 개발, 생산 응용에 적합합니다.