판매용 중고 DISCO DSC 141 #293751064

DISCO DSC 141
제조사
DISCO
모델
DSC 141
ID: 293751064
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Wafer cleaning system, 8" 2006 vintage.
DISCO DSC 141은 마이크로 리토 그래피, 마이크로 머치 닝 및 마이크로 패터닝과 같은 응용 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. photoresist 재료의 효율적인 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. DSC 141은 4 축 포지셔닝 시스템, 레이저 빔 및 통합 회절 광학 요소로 인해 포토 esist 패턴화에 대한 높은 정밀도를 제공합니다. 4축 배치 단위는 포토레시스트 (photoresist) 패턴화 과정에서 패턴의 선명도를 높여 정확한 포토마스킹 (photomasing) 및 이미징 (imaging) 을 가능하게 합니다. 이 기계는 또한 마스크 피치 (mask pitch) 와 높이 (height) 를 정확하게 조정하여 다른 해상도와 스텐실 패턴을 달성 할 수 있습니다. 포토 esist 도구는 또한 고출력 레이저 빔을 특징으로하며, 포토 esist 물질을 정확하게 에칭하는 데 사용됩니다. 레이저 빔은 고정밀도 (high-precision focusing) 로 인해 포토레스 소재 (photoresist material) 의 작은 기능을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 또한, 레이저 빔은 지형 에칭, 복잡한 패턴 및 기타 복잡한 패턴을 포함한 다양한 에치 (etch) 조건을 지원합니다. DISCO DSC 141 자산의 세 번째 기능은 통합 회절 광학 요소입니다. 이러한 요소는 패턴 후 작업에 사용되며 두 개의 세그먼트 (즉, 레이저 소스와 회절 요소) 가 포함됩니다. 회절 (diffractive) 요소는 구조화 된 빛의 빔을 생성하는 데 사용되며, 이 광선 광선 (beam of structured light) 은 photoresist 재료에 패턴을 작성하는 데 사용됩니다. 반면 에, "레이저 '원 은 전체 표면 을 가로질러 감광 물질 을 스캔 하는 데 사용 된다. DSC 141의 이러한 기능을 통해 모델은 photoresist 재료를 효율적이고 정확하게 에치 및 패턴화 할 수 있습니다. 이 장비는 마이크로 리토 그래피, 마이크로 머신 (micromachining), 마이크로패터닝 (micropatterning) 응용 프로그램 등 매우 정밀하고 정확성이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 또한, 고출력 레이저 및 빔 쉐이핑 (beam shaping) 기능을 통해 광범위한 포토 esist 재료를 사용할 수 있습니다.
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