판매용 중고 DELTA DI Wafer Cleaner #293628705
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ID: 293628705
웨이퍼 크기: 6"-8"
DI Wafer cleaner, 6"-8"
6" and 8" wafer cassette holder
Wafer centering station
Dual end effector
DI Spray arm
1" Drain
N2 Dry nozzle
Exhaust booster fan
PC.
델타 디 웨이퍼 클리너 (DELTA DI Wafer Cleaner) 는 반도체 웨이퍼, 회로 보드 및 기타 박막 캐리어와 같은 기판에서 증착 된 재료, 잔류 물 및 오염 물질의 층을 빠르고 안정적으로 제거하는 데 사용할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특허 기술을 사용하여 향상된 청소 기능을 제공합니다. 웨이퍼 청소 과정에는 용매 청소 단계 및 오존 기반 포스트 에치 (post-etch) 단계가 포함됩니다. 용매 청소 단계 (solvent-cleaning step) 에는 노즐을 통해 분배되고 웨이퍼 표면을 코팅 할 수있는 효과적인 청소 솔루션 (cleaning solution) 이 사용됩니다. 이 솔루션은 이전 에치 (etch) 또는 증착 공정이 남긴 잔기를 빠르게 분해하고 추가 처리를 위해 깨끗한 기판을 제공하도록 설계되었습니다. 용매 청소 단계가 완료된 후, 웨이퍼는 오존 기반 포스트 에치 단계를 거칩니다. 이 단계 는 "오존 '(O3) 을 이용 하여 유기 화합물 과 일부 무기 화합물 을 포함 하여 아직도 남아 있을 수 있는" 오존' (O3) 을 신속 히 분해 하고 여분 의 잔기 를 한다. DI 웨이퍼 클리너 (DI Wafer Cleaner) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 시스템으로 사용자에게 수많은 이점을 제공합니다. 첫째, 웨이퍼의 양쪽을 동시에 청소하여 사이클 시간 (cycle time) 을 크게 줄일 수 있습니다. 둘째, "일회용" 버전의 클리너를 사용할 수 있으며, 이는 각 클리닝 사이클을 신선한 웨이퍼로 수행 할 수 있도록 함으로써 교차 오염에 대한 우려를 제거합니다. 셋째, 이 기계는 빠르고 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었으며, 단기간에 고품질 (high-quality) 의 결과를 필요로 하는 사용자에게 이상적인 선택입니다. 마지막으로, 웨이퍼 클리너 (wafer cleaner) 는 완전 자동화 기술을 기반으로 하기 때문에 수동 프로세스가 필요하지 않습니다. 요약하면, DELTA DI 웨이퍼 클리너 (DELTA DI Wafer Cleaner) 는 반도체 웨이퍼, 회로 보드 및 기타 박막 캐리어와 같은 기판에서 증착 된 재료, 잔류 물 및 오염 물질의 층을 빠르고 안정적으로 제거하도록 설계된 뛰어난 포토 esist 장치입니다. 고급 클리닝 머신 (cleaning machine) 과 자동 사전 프로그래밍된 설정 (automated pre-programmed settings) 을 통해 단기간에 고품질 결과가 필요한 사용자에게 적합합니다.
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