판매용 중고 DELTA 7EK #9395525
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ID: 9395525
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2008
Coater, 6"-8"
(1) Dedicated puddle dispense arm for developer and N2
(1) Dedicated spray arm for developer and DI rinse
THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller
PC
2008 vintage.
DELTA 7EK Photoresist Equipment는 정밀 photoresist 처리를 위한 컴팩트하고 경제적인 솔루션입니다. 이 제품은 비용 절감 효과와 성능 이점을 모두 제공하는 일체형 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템에는 정확한 파장 제어를 제공하는 풀 스펙트럼 LED 광도계와 정확한 광 노출 측정을위한 내장 테라헤르츠 (Terahertz) 쿼츠 수정 모니터가 있습니다. 이 장치는 photoresist-soaked VGA, static and dynamic resist, resist coated gold 기판을 포함한 다양한 사진 저항 재료를 지원합니다. 통합 화학 물질 솔루션은 뛰어난 해상도, 성능 장점을 제공하지만, 다운타임을 최소한으로 유지합니다. 이 기계는 고급 자동 로더 (advanced autoloader) 를 갖추고 있어 프로그램을 빠르게 설정할 수 있으며, 공구를 설정하여 한 단계에서 여러 노출물을 자동으로 발사할 수 있습니다. 이러 한 능률적 인 설계 는 시약 을 준비 하고 변화 시키는 데 필요 한 시간 을 대단 히 줄여 주며, 동일 한 "셋업 '에 여러 가지" 포토레지스트' 재료 를 수용 할 수 있다. 통합 홍수 배출 기능 (integrated flood eject feature) 을 통해 과도한 포토 esist 물질을 동시에 처리할 수 있으며, 저항을 변화시키는 데 필요한 시간을 더욱 줄입니다. 성능 측면에서 7EK는 확장 된 깊이 (depth-of-field) 를 통해 최대 0.5äm의 해상도를 낼 수 있습니다. 이 자산은 다양한 공정 (process) 과 기판에 일관된 균일 한 저항 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. 소프트웨어는 매우 직관적이며, 연산자가 필요에 따라 신속하게 프로세스 단계를 설정, 실행, 조정할 수 있습니다. 안전성 측면에서 DELTA 7EK Photoresist Model은 유해 물질에 대한 운영자 노출을 최소화하도록 설계되었습니다. "필터링 '된 공기 흐름 장비 로 완성 된 보호 인클로저 는 공기" 가스' 노출 과 관련 된 위험 을 감소 시킨다. 배기 가스 송풍기 (Exhaust Gas Blower) 는 운영자가 위험 지역에 진입할 필요성을 더욱 줄여주는 한편, 이 과정에서 사용되는 화학 물질의 안전한 처분을 보장합니다. 7EK Photoresist System은 정밀 photoresist 처리에 적합한 옵션입니다. 직관적 인 장치 (unit) 설계를 통해 쉽게 작동할 수 있으며, 고급 기능을 통해 프로세스 자동화 및 정확한 제어가 가능합니다. 이 기계의 안전 기능 (Safety Features) 은 운영자에게 안심할 수 있으며, 합리적인 가격의 성능은 모든 생산 라인에 강력한 솔루션임을 보장합니다.
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