판매용 중고 DELTA 6CL #293628642
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ID: 293628642
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2006
Wafer coater
Cassette nest, 6"-8"
(2) Dispense arms
(2) Cybor programmable metering pumps
Pressure dispense canister for solvent
Dual end effector transfer arm
Backside rinse
Hepa filter
EBR
Hotplate
PC
2006 vintage.
델타 6CL (DELTA 6CL) 은 유리, 플라스틱 등 다양한 표면에 고해상도 이미지를 만드는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 단일 패스로 최대 6 개의 기판을 코팅 할 수있는 멀티 헤드 저항 코팅 시스템 (multi-head resist coating system) 으로, 대용량 생산에 적합합니다. 이 장치에는 용매 스프레이어 (solvent sprayer) 와 쿼츠 아치 (quartz arch) 와 헤드 암 (head arm) 이 포함되어 있으며, 모두 다양한 기판에 맞게 조정이 가능합니다. 이 기계는 특별히 개발되고 직관적인 소프트웨어 (software) 에 의해 제어되며, 다양한 코팅 작업에 사용할 수 있으며, 사용자 친화적 인 기능이 많이 있습니다. 6CL은 포토리스 스트 (photoresist) 에 고유 한 스프레이 방법을 사용하여 기질의 균일 한 코팅을 생성합니다. 이 방법은 "shimmed atomization process" 를 기반으로하며 기판 표면의 균일 한 적용 범위를 제공합니다. 이것 은 "포토레시스트 '가 적절 히 적용 되고" 디자인' 의 중요 한 특징 들 이 정확 하고 일관성 있게 표현 되어 있음 을 보장 해 준다. 델타 6CL (DELTA 6CL) 은 프로그래밍 가능한 스프레이 노즐 (spray nozzle) 을 특징으로하며, 사용자는 스프레이 패턴과 코팅 프로세스의 속도를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 여러 개의 노즐 (nozzle) 이 장착되어 여러 기판을 한 번에 코팅 할 수 있습니다. 노즐 (nozzle) 은 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 6CL은 빛이 선택된 아크릴에서 두꺼운 응용 포토 esist에 이르기까지 다양한 photoresist와 호환됩니다. 또한 용매-얇은 (solvent-thinner) 및 라이트 가이드 플레이트 (light guide plate) 포토 esist를 포함한 다양한 액체 포토 esist 물질과도 호환됩니다. 이 소프트웨어를 사용하면 다양한 포토리스 (photoresist) 소재와 호환 소스를 쉽게 전환하여 작업 흐름을 간소화할 수 있습니다. DELTA 6CL의 해상도는 최대 8äm이며, 이는 고품질 이미지 생산을 보장합니다. 2 "x2" 에서 12 "x12" 까지의 표면을 코팅 할 수 있으며 3 차원 개체, 조립식 템플릿 및 기타 특이한 모양과 함께 사용할 수도 있습니다. 이 도구는 사용이 쉽고 안정적으로 설계되었으며, 직관적인 소프트웨어를 통해 노즐 (Nozzle) 설계를 제어하고, 빠른 제작 속도로 종합적인 이미지를 만들 수 있습니다.
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