판매용 중고 DELTA 5AQ #9395524

제조사
DELTA
모델
5AQ
ID: 9395524
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2005
Developer system, 6"-8" Puddle dispense arm for developer and N2 Spray arm for developer and DI dinse Hotplate THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller Video process monitor PC 2005 vintage.
DELTA 5AQ 장비는 마이크로 전자 장치의 깨끗한 생산을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 제조업체가 프로세스를 보다 효율적으로 관리하고, 결함을 최소화하고, 비용을 절감할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 포토레시스트 (photoresist) 서비스를 제공하여 고품질 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 만들어야 하는 조직을 지원할 수 있습니다. 여기에는 마스킹, 패턴 및 리소그래피 등의 프로세스가 포함됩니다. 또한 패턴 오버레이 검사, 세로줄 스캔, 프로세스 자동 모니터링 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 5AQ는 개발 스테이션, 프로세서 및 자동 웨이퍼 핸들러로 구성된 3 성분 도구입니다. 세 가지 구성 요소 모두 일관되고 최적화된 프로세스를 위해 함께 작동합니다. 개발국은 에셋에 사용되는 포토레지스트 (photoresist) 의 서비스 및 배치 튜닝을 담당합니다. 즉, 고속 메모리 모델을 통해 데이터와 레시피를 신속하게 전송할 수 있습니다. 프로세서에는 여러 개의 펌프, 교반기, 원거리 UV 램프, 스프레이 건 (Spray Gun) 이 포함되어 있어 포토 esist 개발 및 처리 작업의 전체 배열을 가능하게합니다. 또한 사용자에게 프로세스를 안내하는 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 프로세서에는 또한 청결과 화학적 안정성을 유지하기 위해 자체 청소 장비가 포함되어 있습니다. 자동화된 웨이퍼 핸들러는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 사용 가능한 처리 속도가 가장 높습니다. 고급 로봇 공학과 정밀 모션 시스템을 사용하여 기판을 정확하게 정렬하고 배치합니다. 이 시스템에는 특수 용도의 도킹 스테이션 (docking station) 이 장착되어 있어 기판을 쉽게 교환 할 수 있습니다. 결론적으로, DELTA 5AQ는 고품질 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 생산하도록 설계된 고급 포토 esist 장치입니다. 강력한 개발 스테이션, 프로세서, 신뢰성 있는 자동 웨이퍼 (automated wafer) 핸들러를 결합하여 일관되고 최적화된 프로세스를 보장합니다. 이 시스템은 완전히 자동화되어 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공합니다. 최첨단 기능을 갖춘 이 도구는 고품질 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소를 생산해야 하는 모든 조직에 적합한 툴입니다.
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