판매용 중고 DELTA 4CJ #293628703
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ID: 293628703
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2005
Photoresist coater, 6"-8"
Non-functional
Cybor pump
PC
2005 vintage.
DELTA 4CJ는 Hitachi Chemical Co., Ltd.에서 PCB (Printed Circuit Board) 및 반도체 장치 제조를 위해 탁월한 사진 감도와 고해상도를 제공하기 위해 개발 한 포토레스 장비입니다. 이 시스템은 용매 개발 가능한 네거티브-액션 폴리머 매트릭스 (negative-acting polymer matrix) 로 구성되며, 경쟁자의 포토 esist보다 수분 및 화학 물질에 노출되지 않습니다. 4CJ 유닛은 수정 된 실리콘베이스 폴리머 매트릭스 (silicone-base polymers matrix) 로 인해 뛰어난 안정성을 제공하는데, 이는 물에 강하고 다른 포토 esist의 조기 변화를 유발할 수있는 강력한 알칼리성 용액입니다. 이로 인해 DELTA 4CJ 기계는 긴 용매주기가 필요한 고온 프로세스에 특히 적합합니다. 4CJ에 포함 된 수정 된 폴리 이미 드 (polyimide) 는 또한 뛰어난 해상도를 제공하며, 가벼운 노출에서 최대 0.5 미크론의 미세 해상도를 제공합니다. DELTA 4CJ의 용매 개발 가능 폴리머는 최적의 성능을 위해 간단한 프로세스 조건을 요구합니다. 80 ~ 90ì C 범위의 수성 알칼리 개발자에서 10 ~ 20 초의 짧은 스핀 사이클이 용해에 충분합니다. 30분 동안 240ì C에서 구운 후 개발이 가속화되고 수익률이 향상됩니다. UV Curing Center에서 사용할 수있는 EL-20B Light Source와 같은 고에너지 UV 광원에 4CJ 도구를 노출하면 빠른 분해 및 고대비 이미지 개발이 발생합니다. 델타 4CJ (DELTA 4CJ) 자산은 노출 후 잔기에 강하므로, 후속 전도 금속화 또는 유전층 층의 접착을 개선하고 다중 계층 어셈블리에서 성공적인 제작 가능성을 높일 수 있습니다. 또한, 내구성 폴리머 매트릭스 (polymer matrix) 로 인해 4CJ는 노출 후 우수한 수명을 가지며, 장기보다 더 우수한 성능을 보장합니다. 요약하자면, DELTA 4CJ 모델은 뛰어난 해상도와 안정성으로 인해 고성능 PCB 및 반도체 제작 프로세스에 적합한 선택입니다. 장비의 용매가 개발 가능한 특성도 사용하기 쉬운 반면, 우수한 접착 특성은 복잡한 다중 계층 (multi-layer) 어셈블리에서 성공을 보장합니다.
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