판매용 중고 DAN SCIENCE ASL-7500A #9396567
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DAN SCIENCE ASL-7500A는 SODS (silicon-dioxide-silicon) 재료의 에칭을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 400nm 파장 레이저로 박막 재료를 처리하여 에치 속도 (최대 6um/sec) 로 균일하고 고해상도 에칭 패턴을 만듭니다. ASL-7500A는 안정적이고 정확한 기계로, 총 작동 면적은 24x24 인치, 레이저 스팟 크기는 10um입니다. 이 장치는 5um의 중요 라인 정의와 3um의 리프트 오프 정의를 생성 할 수 있습니다. 댄 사이언스 ASL-7500A (DAN SCIENCE ASL-7500A) 는 사용 가능한 최첨단 포토레지스트 (photoresist) 기술을 통합하여 복잡한 장치를 만드는 데 최대 정확성과 정확성을 제공합니다. 이 기계는 고급 Class 3 자동 트랙을 사용하여 광학 헤드의 정확한 위치를 지정합니다. 이 트랙 도구 (Track Tool) 는 최대 100MHz의 대역폭을 지원하며 레이저를 서브미크론 레벨에 정확하게 배치할 수 있습니다. LBDI (Laser Beam Data Interface) 프로토콜은 에치 패턴의 최적의 일관성을 보장하는 실시간 성능 매개 변수를 제공합니다. 또한, 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Controling Software) 는 총의 정확한 광학 조정을 가능하게하여 두꺼운 필름과 얇은 필름에 대한 일관된 신호 강도를 제공합니다. ASL-7500A 소프트웨어는 woodpile etch에서 RIE (reactive ion etch) 에 이르기까지 다양한 에칭 프로세스를 통해 다양한 재료와의 호환성을 극대화합니다. 이 자산은 고급 통신 포트 (Advanced Communications Port) 와 최신 I/O 모델로 다양한 시스템에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 복잡한 프로세스 제어를 위해 다양한 포토 esist 제형과 호환되며, 최적의 에치 (etch) 능력과 완전한 정확성을 보장합니다. DAN SCIENCE ASL-7500A는 광범위한 응용 분야를위한 이상적인 포토 esist 장비입니다. 이 장치는 다양한 박막 재료에 상세한 고정밀 (high-precision) 기능을 만들 수 있습니다. 고급 제어 (Advanced Control) 방식과 소프트웨어 호환성을 통해 일관성 있고 안정적인 결과를 필요로 하는 고객에게 이상적인 선택이 됩니다. 이 시스템은 SODS를 포함한 다양한 재료를 처리할 수 있는 능력 (SODS) 을 통해 반도체 업계의 연구원들과 전문가들에게 적합합니다 (영문).
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