판매용 중고 CRESSINGTON 108 Auto #293768241

CRESSINGTON 108Auto는 웨이퍼 및 기타 기판의 정확하고 재현 가능한 처리를 위해 개발 된 포토 esist 장비입니다. 그것은 다양한 photoresist 증착 및 처리 작업을 처리하도록 설계되었습니다. 이 "시스템 '에는 저온 열 증발기 가 장착 되어 있어서, 기판 에" 포토레지스트' 를 고르게 코팅 할 수 있다. 고정밀도 평면 노즐 모듈을 사용하여 기판 전체에 포토 esist의 균일 한 분포를 보장합니다. 이 장치는 각각 8 개 또는 16 개의 노즐 모듈과 함께 단일 및 다중 모듈 구성으로 작동 할 수 있습니다. 108Auto는 재생성과 정확성을 보장하기 위해 개발 과정에서 정밀한 온도 및 압력 제어 (pressure control) 를 제공합니다. 작업 프로그래밍, 모니터링 및 실행을 위해 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 이 기계에는 기능, 이미징 및 영화 평가를 정렬하기위한 소프트웨어 도구도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 기판과 실행 사이에 프로세스가 일관되게 유지됩니다. 분배 과정을 위해 CRESSINGTON 108Auto에는 VPD (Vacuum Photoresist Dispense) 옵션이 장착되어 있습니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 사진은 로드 및 분배에 저항합니다. 도구는 웨이퍼 에치 (wafer etch) 옵션을 사용하여 웨이퍼 표면에 포토레지스트 에칭을 사용할 수도 있습니다. 또한, 웨이퍼 클리닝 모듈 (wafer cleaning module) 옵션을 사용하여 프로세스 중에 원치 않는 잔류를 제거할 수 있습니다. 108Auto는 표준 청소실 환경에서 사용하도록 설계되었으며 클래스 100/ISO 5를 준수합니다. 최소한의 운영자 교육이 필요하며, 사용자 안전 향상, 직관적인 설계, 인체 공학적 레이아웃, 고급 안전 기능을 제공합니다. 이 자산은 광범위한 업계 표준에 대한 인증을 받았으며 SEMI Standard 300mm Factory Interface Specification과 호환됩니다. 전반적으로 CRESSINGTON 108Auto 모델은 복잡한 포토 레지스트 (photoresist) 구조의 정확한 증착 및 개발을 위해 신뢰할 수 있고, 강력하며, 사용자 친화적 인 플랫폼을 제공합니다. 정밀 처리가 필요한 "웨이퍼 '와 기판 생산에 이상적인 선택이다.