판매용 중고 CONVAC M 2000 #293585687

제조사
CONVAC
모델
M 2000
ID: 293585687
Spinner / Coater Gas: Boron.
CONVAC M 2000은 반도체 처리에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 주로 박막 증착, 3D 에칭 및 인쇄 회로 기판 에칭과 같은 마이크로 일렉트로닉 리소그래피 응용 프로그램에 사용됩니다. 이 시스템은 사용자가 높은 정확도로 다양한 고급 반도체 (advanced semiconductor) 구조를 빠르게 개발할 수 있도록 설계되었습니다. CONVAC M2000 은 스텝 퍼, 스캐너, 현미경 등 다양한 광 툴 (optical tool) 을 빠르게 이동하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 따라서 복잡한 3D 모양을 기판의 정확한 서피스 피쳐로 변환할 수 있습니다. 수동 및 자동 작동을 위해 장치를 구성할 수 있습니다. M 2000 (M 2000) 은 고유 한 사진 마스크 플레이트를 특징으로하며, 특정 디자인에서 정확한 패턴을 생성하는 데 사용할 수 있습니다. 판은 폴리머 필름으로 구성되며 자외선 및 x- 선 방사선에 민감합니다. 사용자는 판에서 하나 이상의 감광 요소를 선택하여 원하는 패턴을 생성합니다. 이것 은 "플레이트 '를 방사선 의 근원 에 직접 노출 시키거나" 스테퍼' 와 같은 "프로그램 '된 장치 를 사용 함 으로써 달성 할 수 있다. 이 기계는 또한 photoresist 작업을 보완하는 다양한 다른 프로세스를 지원합니다. 여기에는 ashing, doping 및 sputtering과 같은 후처리 작업이 포함됩니다. 이 도구는 습식 (wet-etching) 도 지원하므로 사용자가 구조 내에서 더 정확하게 식각 할 수 있습니다. M2000 은 고급 기능을 사용하기 쉬운 컨트롤과 결합하여 안정적이고 경제적인 방법으로 고품질 포토레지스트 (photoresist) 작업을 수행합니다. 이 플랫폼은 높은 수준의 정확성, 유연성, 확장성으로 인해 소규모 연구실과 생산 라인 모두에 이상적인 플랫폼입니다.
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