판매용 중고 CONVAC CRH 9S #54531
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ID: 54531
빈티지: 1988
Spin coater
390v, 50hz, 5.5kva
Complete with spares and books
1988 vintage.
CONVAC CRH 9S Photoresist Equipment는 반도체 산업에서 포토 사이스트를 드리고 반동하기위한 강력하고 정확한 도구입니다. 이 시스템은 고객에게 최신 최첨단 (최첨단) 기술을 제공하여 제조 목표를 달성할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 구성 요소의 조합으로, 각각 자신의 작업을 수행하여 궁극적으로 정밀 포토 esist 필름 (photoresist film) 을 생성합니다. CRH 9S의 구성 요소는 수송 진공실, 저항 기화기, 캐스케이드 챔버, 에어로졸 안개 농축기, 콘덴서 및 드럼 반동기로 구성됩니다. 수송 진공 챔버는 포토 esist가 적재 된 챔버입니다. 안으로 들어가면, 포토 esist는 진공에 노출되어, 저항에서 휘발성 성분을 제거하고 균일 한 증착을 보장한다. "레지스트 기화기 '는" 레지스트' 를 기판 재료 에 균등 하게 분배 하는 작용 을 하는 성분 이다. 가열 된 "기화기 '는 기판 물질 의 표면 에 정확 하게 집착 한 다음, 동시 에 열 증착 을 수행 하여, 저항제 가 두께 가 균일 한" 필름' 을 형성 할 수 있다. 캐스케이드 챔버 (Cascade Chamber) 는 저항 방울을 균등하게 분산 한 다음, 빠르고 일관된 속도로 저항을 기판 재료에 분배합니다. "캐스케이드 챔버 '는 또한 방울 을 작고 기판 위 에 고르게 분포 시킴 으로써" 레지스트' 의 균일 함 을 제어 하는 데 도움 이 된다. "에어로졸 '" 미스트' 농축기 는 "캐스케이드 '실 에서 순환 되는 동안 농축물 방울 에서 이물질 입자 를 제거 하는 작업 을 한다. 이 구성 요소는 또한 저항의 일관성과 균일성을 보장합니다. "콘덴서 '는" 에어로졸' 안개 농축기 에 동력 을 공급 하는 것 이다. 콘덴서는 또한 저항 온도를 조절하여 방울로 끓는 것을 방지합니다. 마지막으로, 드럼 반동 도구 (drum recoat tool) 는 기판 재료를 균등하고 빠르게 반동하는 데 사용됩니다. "드럼 '반동 자산 은 또한 기판 반동 의 반복성 을 증가 시킴 으로써" 레지스트' 필름 의 결함 을 줄이는 데 도움 이 될 수 있다. 결론적으로, CONVAC CRH 9S Photoresist Model은 반도체 산업에서 photoresist를 소각하고 반동시키는 강력하고 정확한 도구입니다. 이 장비는 수송 진공실, 저항 기화기, 캐스케이드 챔버, 에어로졸 안개 농축기, 콘덴서 및 드럼 반동 시스템으로 구성됩니다. 이 모든 구성 요소는 균일성, 일관성 및 반복성이 뛰어난 정밀 포토 esist 필름을 생성하기 위해 함께 작동합니다.
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