판매용 중고 CONVAC CBA-1-1M-2000 #293747947
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CONVAC CBA-1-1M-2000 포토 esist 장비는 작은 정밀 샘플과 컴포넌트의 패턴화를 위해 설계된 고정밀 노출 및 증착 시스템입니다. 이 단위는 photolithography 및 vacuum deposition의 기능을 결합하여 사용자에게 효과적이고 효율적인 결과를 제공합니다. CBA-1-1M-2000은 유전체와 금속의 증착을위한 14 층 증발기와 6 인치 마스크 정렬 플랫폼을 갖추고 있습니다. 증발기는 다중 층 증착을 위해 최대 16 개의 동시 증착 영역을 허용합니다. 이 기능을 사용하면 더 작고 복잡한 컴포넌트를 패턴화하고 더 넓은 영역에 균일 한 두꺼운 필름 (thick film) 을 증착할 수 있습니다. 조명 된 마스크 정렬기 (mask aligner) 를 사용하면 마스크를 기판에 정확하게 정렬할 수 있으며, 미세한 디테일과 높은 정확도로 피쳐의 증착과 패턴을 만들 수 있습니다. 이러 한 "응용프로그램 '을 위해 광범위 한 재료 를 사용 할 수 있으며, 원하는 효과 를 얻기 위하여 기계 를 여러 가지 노출" 파라미터' 에 맞추어 조정 할 수 있다. CONVAC CBA-1-1M-2000은보다 복잡한 샘플과 구성 요소에 적합한 다양한 증착 기술을 갖추고 있습니다. 스핀 코팅 (spin coating), 스프레이 코팅 (spray coating) 및 슬롯 코팅 (slot coating) 을 포함한 이러한 기술의 통합은 두께가 균일 한 등각 필름의 정확한 증착을 가능하게한다. 이렇게 하면, 금속 과 유전체 층 을 증착 시켜, 광범위 한 "구성 요소 '를 믿을 수 있게 보호 할 수 있다. CBA-1-1M-2000 은 처리 데이터 수집을 위한 자동화된 자산 (Automated Asset) 과 샘플 폐기 (Sample Disposition) 를 통해 처리량을 극대화하고 공구 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 이 장비에는 백업 스토리지 (backup storage) 가 장착되어 있어 시스템 장애 또는 다운타임 발생 시 프로세스와 데이터를 백업할 수 있습니다. 이 장치는 효율성이 높고 비용 효율성을 높이도록 설계되었으며, 광범위한 연구/산업 응용프로그램을 위한 유용한 툴이 되었습니다 (영문).
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