판매용 중고 CONVAC 501GS #114086

CONVAC 501GS
제조사
CONVAC
모델
501GS
ID: 114086
wafer spinner, programmable, floor model.
CONVAC 501GS는 정밀 전기, 광학 및 미세 기계 부품 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 완전히 자동화된 비 접촉 SPRITE (Spatial Photo Resistive Imprint Technique) 프로세스입니다. 이 기술은 반 유동화 된 영상 영역을 사용하여 미리 정해진 위치에서 광물질 (photoresist material) 을 가공소재에 노출시키고 퇴적시킵니다. SPRITE 방법은 해상도가 몇 미크론까지 높은 고해상도 패턴을 제공합니다. 501GS는 자체 테스트와 피드백 제어를 갖춘 폐쇄 루프 (closed loop) 장치를 통해 정확하고 반복 가능한 이미징을 제공합니다. 그것 은 "마스크 '를 기판 에 비하여 정밀 하게 정렬 하기 위한 집적, 전동식 단계 를 가지고 있다. 임베디드 PC 컨트롤러 및 관련 소프트웨어는 향상된 제어 및 상태 모니터링을 제공합니다. 기계는 자외선 광원 (UV Light Source) 을 폭넓게 선택하고 원하는 패턴을 기판에 투영하기 위한 연관 광학 (Optic) 을 내장하고 있다. 광학은 또한 광원을 확대하여 기판에 집중시킬 수있다. 최대 600와트의 전원 공급 장치 (전원 공급 장치) 를 조정하여 원하는 해상도를 보장할 수 있습니다. 이 도구는 신뢰성이 높으며 대용량 생산에 적합합니다. 유지 보수가 불가능한 디자인으로, 최소 온도 및 습도 제어 만 필요합니다. 또한 강력한 기계적 설계를 통해 높은 가속, 온도, 전기 및 자기장을 견딜 수 있습니다. 또한, 도자기, 금속과 같은 이국적인 물질을 쉽게 처리 할 수있는 초저진공실이 있습니다. 닫힌 루프 자산은 또한 반복성과 높은 처리량을 허용합니다. CONVAC 501GS는 최고의 정확성과 신뢰성을 요구하는 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 항공 우주, 방위, 의료, 자동차 등 다양한 시장에서 우수한 성과를 거둔 것으로 입증되었습니다.
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