판매용 중고 CONVAC 1001 #293653478

제조사
CONVAC
모델
1001
ID: 293653478
빈티지: 1994
Spin coater 1994 vintage.
CONVAC 1001은 반도체 업계의 첨단 처리 시스템 및 소모품 공급 업체 인 CONVAC GmbH (CONVAC GmbH) 가 개발 및 제조 한 고성능 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 응용 프로그램에 적합하도록 설계되었으며, 박막 포토 esist 증착, 리프트 오프 작업 및 반도체 제작을위한 고해상도 패턴화 (high resolution patterning) 에 맞게 특별히 조정되었습니다. 1001에는 매우 높은 수준의 프로세스 제어 및 정확성을 제공하는 듀얼 빔 (dual-beam) 광 투영 장치가 있습니다. 이 기계는 감광된 광선 (Colimated Beam of Light) 을 사용하여 포토리스 (Photoresist) 기판에 정확하게 정렬되고 초점을 맞추고 뛰어난 패턴 전달과 피쳐 정렬을 제공합니다. 특화된 소프트웨어 및 알고리즘은 포토리스 (photoresist) 패턴화 성능의 최적화를 자동화하고 프로세스 매개변수 (process parameter) 조정을 용이하게 하여 조명강도와 파장을 제어합니다. CONVAC 1001 (CONVAC 1001) 은 또한 전체 기판 영역에 균일 한 커버리지를 제공하도록 설계된 고급 코팅 장치를 갖추고 있습니다. 이것은 최소화 된 결함으로 포토 esist 코팅의 일관된 품질과 포토 esist 두께의 개선 된 균일성을 보장합니다. 이 도구는 매우 자동화되어 있으며 내장된 웹 기반 인터페이스를 통해 원격으로 제어할 수 있습니다. 또한, 1001에는 박막 포토레지스트 코팅의 프로세스 매개 변수를 추적하는 실시간 모니터링 에셋 (asset) 이 장착되어 있어, 최적의 성능을 위한 높은 프로세스 제어 및 피드백을 제공합니다. 전반적으로, CONVAC 1001 포토 esist 모델은 광범위한 광전자 및 반도체 공정 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 성능, 정확성, 제어 기능을 제공하여 유연한 제작, 높은 수율, 저렴한 가격 대비 제조를 위한 완벽한 선택입니다.
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