판매용 중고 COBURN Stratum #9244709

코번 스트라툼 (COBURN Stratum) 은 고급 광학과 석판 기법의 조합을 사용하여 기판 위에 고품질의 3 차원 구조를 만드는 포토 esist 장비입니다. 반도체 및 미세 전기 기계 장치 (MEMS) 의 수많은 응용 분야에 사용되었습니다. 시스템은 두 가지 주요 컴포넌트, 즉 조명기 (illuminator) 와 패턴화 단위 (patterning unit) 로 구성되며, 각각은 원하는 결과를 달성하는 데 중요한 역할을합니다. 먼저, 조명기 는 기판 에 특정 한 파장 의 빛 의 균일 한 노출 을 제공 한다. 이 파장은 사용 된 photoresist 유형에 따라 UV ~ 녹색이 될 수 있습니다. 원하는 패턴을 생산할 수 있는 신뢰할 수 있는 수단을 제공하기 위해서는 빛이 균일 (uniform) 해야 합니다. 조명기 (Illuminator) 를 사용하여 패턴에 필요한 세부 (Detail) 수준에 따라 노출을 수정할 수도 있습니다. 둘째, 패턴화 장치에는 스텐실, 마스크, 마이크로 렌즈 및 정렬 장치가 포함됩니다. "스텐실 '은" 패턴' 을 조명기 '의 빛 에 노출 된 기판 에 그리는 데 사용 된다. 마스크는 원하는 패턴을 기판 또는 기판 서피스로 전송하는 데 사용됩니다. 결과 패턴의 피쳐 크기를 줄이기 위해 패턴 위에 마이크로 렌즈 (micro-lens) 가 배치됩니다. 정렬 기계는 마스크 배치 및 최종 기판의 정확성을 보장합니다. 일단 "마스크 '가 제자리 에 들어오면, 그 기판 에 빛 이 노출 된다. 이것은 레이저 또는 홍수 노출 기술을 사용하여 수행됩니다. 노출 후, 과도한 포토 esist는 개발자를 사용하여 제거됩니다. 개발자는 기질에서 포토 esist를 제거하지만 원하는 패턴을 그대로 두는 화학 물질 (chemicals) 을 함유하고 있습니다. 공정을 마무리하기 위해 에칭 (etching) 이나 증착 기법 (deposition technique) 을 사용하여 패턴을 추가로 수정할 수 있습니다. Stratum은 강력하고 다양한 포토 마스크 도구입니다. 반도체 장치, MEMS 장치, 광전자 부품 등 다양한 응용 분야에 사용되었습니다. 비용 대비 효과적이며, 소요 시간이 짧으며, 이는 비용에 민감한 프로젝트에서 큰 이점입니다.