판매용 중고 CND PLUS CIE-4D02(04)-C #9267215

ID: 9267215
Developer system.
CND PLUS CIE-4D02 (04) -C는 반도체 및 기타 집적 회로의 산업 생산을위한 광화학 재료 및 솔루션 제공 업체 인 CND (Coating and Developing Inc.) 가 개발 한 최첨단 포토 esist 장비입니다. CND PLUS photoresist 시스템은 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 고정밀 생성을 위해 직접 쓰기 (direct-write) 포토 리토 그래피 프로세스에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 CND의 고급 4 층 증착 기술 (4D02) 과 함께 독점적이고 단단한 구운 석판 사진 코팅 (photoresist coating) 을 사용하여 매우 높은 수준의 해상도와 동질성을 가진 기능을 만듭니다. CND 4D02 코팅은 기존의 photolithography 프로세스와 상호 작용하도록 특별히 설계된 4 개의 개별 필름 레이어로 구성됩니다. 4 개의 레이어는 투영기 (projection machine) 의 광학 요소 (photolithographic optical elements) 와 상호 작용하고 변조하도록 설계되어 완성된 제품의 디자이너가 원하는 정확한 기능을 제공합니다. 4D02 코팅의 첫 번째 레이어는 UV 차단 레이어입니다. 이 계층은 작은 물체 세부 (small-object details) 를 만드는 데 필요한 석판 공정에서 균일성을 만드는 데 도움이되며, 기본 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 저항과 오염의 과잉 노출도 방지할 수 있습니다. 두 번째 레이어는 하드 구운 UV 흡수 레이어로, 초점 깊이와 허용 가능한 인쇄에 필요한 임계 크기 (CD) 를 줄입니다. 이 화학층 은 더 정밀 하고 정확성 이 있으며, 수율 을 증가 시키는 데 도움 이 된다. 세 번째와 네 번째 레이어는 각각 photoresist 레이어와 UV 강화 etch stop 레이어입니다. 이 층들은 상호 작용하여 기본 실리콘 웨이퍼를 과도한 노출 및 화학 공격으로부터 보호합니다. 이를 통해 기존의 사진 해설법 (photolithography) 프로세스보다 더 선명한 기능 경계와 높은 해상도로 고품질 인쇄를 보장할 수 있습니다. CND PLUS CIE-4D02 (04) -C photoresist 도구는 고급 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 사용되는 고밀도, 초미세 디테일 및 복잡한 유전층에 이상적입니다. 하드 구운 UV 흡수 레이어는 해상도를 향상시키고 수용 가능한 인쇄를 달성하는 데 필요한 CD를 줄이는 반면, 4 층 코팅은 석판 학적 균일성과 현장 심도 성능을 향상시킵니다. 감소된 CD 사양은 더 복잡한 패턴으로 더 높은 수율을 허용하는 반면, 보호 계층은 향상된 반복성 (repeatability) 과 더 긴 다이 라이프 타임 (die lifetime) 을 보장합니다.
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