판매용 중고 CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 #9267665

ID: 9267665
Spin Rinse Dryers (SRD) Dual chamber.
CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Equipment는 microelectronic 구성 요소 제조에 사용되는 photolithography 프로세스의 정확성과 정밀도를 향상시키기 위해 설계된 시스템입니다. 이 장치는 고해상도 광학 이미징 머신과 증착 (deposition) 및 습식 (wet-etch) 기술을 사용하는 고급 현장 개발 도구를 결합하여 두께 250nm 정도의 작은 고밀도 기능을 생성합니다. 8600 Photoresist Asset는 멀티 레이어 이미징 기술을 사용하여 개발 된 기능과 기본 기판 사이의 높은 대조를 이룹니다. CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Model은 정확한 패턴 배치 및 이미징을위한 고해상도 광학 이미징 장비로 구성됩니다. 포토 esist 특징과 기본 기판 사이에 높은 수준의 대비를 생성합니다. 이 시스템에는 피쳐 개발 중 정밀 노출을위한 고해상도 동작 제어 장치가 있습니다. 다중 레이어 마스킹 기술에서는 개별 레이어 이미징이 가능합니다. 8600 Photoresist Machine은 개발 중 챔버 내에서 photoresist 기능을 최적화하기 위해 고급 현장 내 증착 기술을 사용합니다. 이 증착 기술은 포토 esist의 개발 후 증착과 플럭스 구동 에치 (flux-driven etch) 를 포함하여 고정밀 기능을 생성하는 2 단계로 구성됩니다. 에치는 습식 화학 에찬트 (wet chant) 와 반응성 소스 가스 (reactive source gase) 의 조합으로 수행되어 원하는 포토 esist 피쳐 형상을 만듭니다. CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Tool에는 사진 분석 최적화 및 프로세스 자동화를위한 고급 소프트웨어 도구도 포함되어 있습니다. 그래픽, 텍스트 기반, 명령줄 기반 프로그램 인터페이스 등 다양한 사용자 인터페이스 (user interface option) 를 통합하여 빠르고 간편한 설정 및 프로세스 수정을 지원합니다. 또한, 자산은 환경의 다양한 조건을 고려하는 통일된 기능 개발을 위해 지능형 자동화 (Intelligent Automation) 모델을 사용합니다. 8600 Photoresist Equipment는 빠른 처리 시간으로 탁월한 정확성과 정밀도를 제공합니다. 광석기 (photolithography) 공정에서 처리량 및 신뢰성을 극대화하려는 제조업체에게는 탁월한 선택입니다. 이 고도로 자동화된 시스템은 뛰어난 균일성 (unifority) 과 균일한 선 너비의 고해상도 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 자동화된 소프트웨어 도구를 사용하여 CLASS ONE TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Unit을 통해 photolithography 설정 및 작동을 단순화합니다.
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