판매용 중고 CHEMALUX 100 #9246757

CHEMALUX 100
제조사
CHEMALUX
모델
100
ID: 9246757
Coater system.
CHEMALUX 100은 SAG 어소시에이트 (SAG Associates) 가 설계 한 포토 esist 시스템으로 복잡한 집적 회로 패턴 개발을 위해 균일 한 플랫폼을 제공합니다. 그것은 두 가지 주요 구성 요소, 즉 결합 단량체와 치료제 또는 개시자로 구성됩니다. 특정 비율로 결합 할 때, 결합 단량체 (binding monomer) 와 개시체 (initiator) 는 빛에 노출 된 직후 경화 된 필름을 형성하기 위해 빠르게 반응한다. 이 경화 된 "필름 '은 화학적 공격 과 습기 에 대한 장벽 을 개선 시켜 주며, 100 은 반도체 응용 에 이상적 인 광자 가 된다. CHEMALUX 100은 리소그래피 단계에서 사용되는 산 및 알칼리 (alkalis) 에 저항하여 장치 제작 중 탁월한 해상도를 제공합니다. 포토레지스트 (photoresist) 는 프로젝트 또는 장치의 정확한 사양에 맞게 조정될 수 있으며, 이를 통해 매우 작은 피쳐를 쉽고 정확하게 패턴화하고 에칭할 수 있습니다. 100의 주요 장점은 증착 속도입니다. 에칭 (etching) 과 후처리 (post-processing) 에 저항하기 위해 균일 한 포토 esist 층을 제공하면서 기판을 빠르게 퍼뜨립니다. CHEMALUX 100은 전자 빔으로 패턴화 될 정도로 안정적이며, 매우 미세한 특징 크기 (50 nm) 를 형성 할 수 있습니다. 이것은 차원의 안정성뿐만 아니라 뛰어난 단열성을 제공합니다. 100의 처리 능력은 우수하며, 포토리스 연주자의 인쇄, 코팅, 이미징이 용이합니다. 고해상도를 통해 다양한 레이저 및 광학 이미징 시스템 (Optical Imaging System) 과 함께 사용할 수 있습니다. 그것 의 화학적 특성 은 사용 편이성 과 더불어, 깊은 "에칭 ', 고온 처리, 복합적 인" 마스크' 에 이상적 인 광자유론자 가 되게 한다. 요약하자면, CHEMALUX 100은 다양한 요구에 맞게 맞춤 할 수있는 잘 둥근 포토 esist 시스템입니다. 고해상도, 손쉬운 처리성, 균일 한 증착 (uniform deposition) 은 모든 종류의 반도체 응용에 적합한 선택입니다. 안정성과 화학적 저항이 불가능하여 집적 회로 (integrated circuit) 패턴 및 장치 제작을 위해 선택할 수 있습니다.
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