판매용 중고 CETC LXS-1000 #9073952

CETC LXS-1000
제조사
CETC
모델
LXS-1000
ID: 9073952
Wafer dryers.
China Electronic Technology Group CETC LXS-1000은 다양한 기판에서 접촉 구멍, 트렌치 및 기타 기능을 패턴화하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 레이저 소스, 통합 제어 장치, 진공 챔버 및 정밀 X-Y 테이블이 포함됩니다. 레이저 소스는 출력 에너지가 10 와트이고 펄스 길이가 피코 초에서 나노 초인 Yb- 레이저를 기반으로합니다. 이 "레이저 '원 은" 패터닝' 을 위해 기판 에 집중 된 정확 하게 제어 된 "레이저 '펄스 를 생산 할 수 있다. 이 레이저 제어 장치 (Laser Control Unit) 는 장치에 통합되어 있으며, 레이저가 원하는 패턴과 구성을 실행할 수 있도록 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 레이저 원격 작동이 가능한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 제공하여 사용자가 실시간 펄스 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. ··· 진공실 은 반응 시간 을 감소 시키고, 높은 처리량 을 얻기 위해, 작동 중 에 기계 의 대기 를 정확 하게 조절 하는 데 사용 된다. 이것은 photoresist 패턴 작성 과정에 특히 중요합니다. LXS-1000 도구의 X-Y 테이블은 패턴화하는 동안 기판의 고정밀 위치를 제공합니다. 자동 드라이브 에셋 (Automated Drive Asset) 이 장착되어 있어 기판의 위치 및 정렬이 정확하며, 사용자가 단일 작업으로 기판 배열 (Array of Substrate) 에 피쳐를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이는 여러 피쳐의 정확한 위치가 필요한 넓은 영역 기판을 패턴화하는 데 특히 유용합니다. 전반적으로, China Electronic Technology Group CETC LXS-1000은 컨택트 홀, 트렌치 또는 기타 기능을 다양한 기판에 패턴화 할 때 높은 정확성과 정밀도를 제공 할 수있는 고급 포토 esist 모델입니다. 통합 레이저 소스, 강력한 레이저 제어 장치, 진공 챔버, 기판의 정확한 위치를 확인할 수있는 매우 정확한 X-Y 테이블 (X-Y Table) 이 특징입니다. 이 장비는 대용량 생산 프로세스에 필수적인 빠르고, 정확하고, 안정적인 결과를 제공할 수 있습니다.
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