판매용 중고 CARL ZEISS ZBA 21 #9208417

CARL ZEISS ZBA 21 포토 esist 장비는 정밀 이미징에 대한 업계 최고의 초점 깊이를 가진 고급 저항 시스템입니다. 이 장치는 고급 기판에서 특수 응용 프로그램 (specialty application) 에 이르기까지 다양한 리소그래피 응용 프로그램을 최적화하며, 일부 노출 파장과 호환됩니다. CCD 카메라가 장착된 컴퓨터 비전 (Computer Vision) 기술을 기반으로 한 자동화된 비전 머신 (Vision Machine) 을 통해 R & D와 제조 모두에 적합합니다. 이 기능을 사용하면 고정밀 정렬 제어 및 자동 초점 최적화가 가능합니다. 또한 기판/저항기 유형 (type), 레이어 두께 (layer thickness) 및 도구의 성능에 영향을 줄 수 있는 기타 기능을 지능적으로 조정할 수 있습니다. ZBA 21은 시간당 최대 650 웨이퍼의 공정 속도를 가지며, XY 방향에서 3 유로의 반복 정확도와 6 인치 웨이퍼에서 15 유로의 훌륭한 피치 능력을 갖습니다. 노출 파장의 범위는 157nm에서 400nm이며, 이는 장치 성능 향상, 오버레이 등록 및 기타 생산 요구 사항에 대한 자산을 더욱 최적화합니다. 또한, 포토레스 (photoresist) 모델은 튜닝 가능한 스펙트럼 기능 (tunable spectrum feature) 과 같은 고급 기술 기능을 통해 더 나은 균일성 및 라인 너비 제어를 제공하여 특정 요구에 맞는 노출 파장을 선택하고 조정 할 수 있습니다. 또한 동적 이미징 (dynamic imaging) 기술을 통해 이미징 모드를 깊이에서 얕은 깊이까지 최적화할 수 있습니다. CARL ZEISS ZBA 21은 고도의 정밀 이미징 기술과 자동화된 기능을 결합하여 사용자에게 대상 기능을 갖춘 뛰어난 사진 촬영 성능을 제공합니다. 소프트웨어 인터페이스 설계, 데이터 분석, 자가 진단을 통해 사용자는 워크플로우를 간소화하고 의사 결정을 자신감 있게 수행할 수 있습니다 (영문). 이것은 광범위한 참여를 위해 훌륭한 선택입니다.