판매용 중고 CANON CDS-650 #9111287

CANON CDS-650은 반도체에서 박막 패턴을 형성하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 서브미크론 정밀도로 고해상도 패턴을 생산할 수 있는 뛰어난 광학 장치 (optical unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 장파 UV 램프의 고유 한 조합을 기반으로 한 사진 촬영 (photolithography) 에 새로운 솔루션을 사용합니다. CDS-650의 최대 기판 크기는 300mmx300mm입니다. 이 도구는 렌즈 통과 이미징과 10 비트 다이내믹 레인지가 장착 된 1024 x 1024 픽셀 CCD 카메라와 함께 CeASTAR-300 리토 마스크 정렬기를 사용하여 포토 마스크를 고정밀 정렬할 수 있습니다. CANON CDS-650에는 정확한 정렬을 위해 서브 미크론 정밀도를 제공하는 동축 LED 구동 포지셔닝 헤드가 있습니다. CDS-650은 고급 CANON LEXT OLS 4000 레이저 스캔 초점 현미경 기술을 사용하여 뛰어난 해상도와 패턴 충실도를 제공합니다. 자산은 최소 0.25 미크론의 기능 크기를 달성 할 수 있습니다. 즉, 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에 적합합니다. 이 모델의 photoresist 솔루션은 고해상도 이미징에 필요한 높은 반응성 광활성 화합물 (PAC) 을 함유하는 시약을 기반으로합니다. 이 PAC는 기질 표면에 흡착되어, 광 소시스트의 빠르고 균일하게 조사 할 수 있습니다. CANON CDS-650은 이러한 고유한 프로세스를 활용하여 뛰어난 해상도로 박막 패턴을 형성합니다. 이 장비에는 사용자 안전을 향상시키기 위해 설계된 몇 가지 기능도 있습니다. 자동 웨이퍼 로딩 시스템을 사용하면 쉽고 안전한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 안전 연동 장치는 포토 esist 처리 영역 외부의 자외선 (UV) 노출을 방지합니다. 또한, 머신은 UV 노출 수준이 허용 가능한 범위 밖에있을 때 운영자에게 경고 할 안전 모니터 (Safety Monitor) 를 제공합니다. 일관되게 고품질 결과를 얻기 위해, CDS-650 은 프로그램 가능한 셔터를 사용하여 필요할 때 웨이퍼에 대한 UV 노출을 거부합니다. 이 셔터는 또한 UV 노출 수준을 최소화하는 역할을합니다. 또한, 이 도구는 내장 배기 환기 에셋과 배기 제어 모듈 (배기 제어 모듈) 을 갖추고 있어 유해 증기가 안전하게 배출됩니다. 전반적으로, CANON CDS-650은 1 등급 해상도와 정밀도로 박막 패턴을 형성 할 수있는 신뢰할 수있는 포토 esist 모델입니다. 우수한 광학 장비, 시약 기반 포토레지스트 솔루션, 사용자 안전 기능이이 시스템을 까다로운 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션에 가장 적합한 제품으로 만듭니다.