판매용 중고 CANON CDS-630R+ #293796123

CANON CDS630R + 는 현대 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 컴팩트하고 비용 효율적인 패키지에서 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. CDS630R + 장치는 100W 수은 램프와 200W 질화물 (GaN) 램프를 갖춘 이중 광원 설계를 사용합니다. 이 조합은 정확한 저항 개발을 위해 UV 및 적외선 복사를 생성합니다. 이 기계에는 일관된 드라이 필름 균일성 및 반복 가능한 개발을 보장하기위한 예열 단계가 포함되어 있습니다. 도구의 온도 조절 핫 플레이트 (hot plate) 는 웨이퍼에 적용되는 저항의 정확한 균일성을 보장합니다. 또한 CANON CDS630R + 자산에는 실시간으로 저항 특성을 측정하기위한 고해상도 스캐닝 쌍 분광계 모델이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 photoresist 물리적, 화학적 특성의 변화를 모니터링하여 생산 과정을 최적화 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 APC (Automated Process Control) 소프트웨어를 사용하여 각 photoresist 배치의 개발 주기를 자동화하고 모니터링합니다. APC 소프트웨어는 오류를 줄이고 개발 프로세스의 일관성을 향상시킵니다. 일관성 있는 품질과 반복성을 보장합니다. 이 시스템은 마이크로 프로세서로 제어되며, 실시간 상태 모니터링을 위한 대형 디지털 디스플레이를 포함합니다. 모든 장치의 매개변수를 소프트웨어로 프로그래밍할 수 있습니다. 즉, 사용자는 단일 제어 인터페이스 (single control interface) 에서 전체 운영 워크플로를 모니터링할 수 있습니다. 이 기계에는 프로세스 정확성과 반복 성을 향상시키는 통합 펄스 생성기 (pulse generator) 도 포함되어 있습니다. CDS630R + 도구는 안정성이 높으며, 대부분의 반도체 제조 설비의 생산 요구를 충족시킬 수 있습니다. 이중 광원 설계, 고급 자동화 기능, 안정적인 성능을 갖춘 CANON CDS630R + 포토레시스트 (photoresist) 자산은 대용량 생산에 적합합니다.