판매용 중고 CANON CDS-630 #9269121
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CANON CDS-630은 산업용으로 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 첨단 이미지 처리 기술 (off-the-shelf imaging technology) 과 마스터 제조 지식 (master-fabrication knowledge) 을 결합하여 산업 응용 분야에 사용할 수 있도록 이미지 처리 및 저항 기판의 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 아크릴, 폴리 이마이드, 폴리 에스터, 에폭시 등을 포함한 다양한 기질 유형을 처리 할 수 있습니다. CDS-630은 원하는 photoresist 패턴 또는 이미지를 생성하기 위해 디지털 이미징 장치를 사용합니다. 이것은 정확하게 패턴화하기 위해 기질의 가시적 (visible) 및 자외선 (ultraviolet) 이미지를 생성하기 위해 광학 편광 현미경과 결합 된 고해상도 선형 가변 분산 분광계로 구성됩니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 은 기판 및 응용 프로그램 요구 사항에 따라 인치에서 미크론까지 다양한 이미지 크기를 생성할 수 있습니다. 포토 esist의 증착을 위해, CANON CDS-630은 잘 혼합 된 용기에 분배 된 솔 겔 (sol-gel) 솔루션을 사용하며, 이로부터 미세한 노즐을 통해 수직 스풀 링 챔버에 주입된다. 이것은 패턴 균일성의 기판과 균일성에 대한 증착의 균일성을 보장한다. 그 후, 기질은 사전 설정된 온도로 가열되고, 공기 청소 공정 (air-cleaning process) 을 만들기 위해 존재 할 수있는 초과 저항 액체 (excess resist liquid) 를 제거하기 위해 진공이 적용된다. 포토레지스트가 치료되면, 포스트 베이크 (post-bake) 작업을 통해 이미지를 더욱 향상시킬 수 있습니다. 여기에는 조사, 홍수 노출 및 전기 도금이 포함됩니다. 그 후, 기판을 추가로 청소하고 준비 할 수있는 etchback 및 photo-assist 프로세스를 사용할 수 있습니다. 스핀 코터 (spin coater), 산 에처 (acid etcher) 및 몰드 (molds) 와 같은 다양한 실험실 기기도 수동 처리에 사용할 수 있습니다. 전반적으로 CDS-630 포토레시스트 (photoresist) 도구는 업계 응용프로그램을 위한 안정적이고 강력한 이미징 및 처리 솔루션입니다. 고해상도 (High Resolution) 와 균일성 (Unifority) 을 갖춘 복잡한 패턴을 생산하기 위한 최적의 선택입니다. 또한, 광범위한 포스트 베이크 (Post-Bake) 작업은 뛰어난 유연성과 사용자 정의 기능을 제공하여 특정 응용 프로그램에 맞게 광범위한 기판 유형을 준비할 수 있습니다.
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