판매용 중고 CALITECH CT-608D #293760256

CALITECH CT-608D는 실리콘 (silicon), 금속 합금 (metal alloys), 고급 재료 (advanced materials) 와 같은 다양한 기판에서 매우 정확하고 신뢰할 수있는 저항 패턴을 제공하는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 입자 오염을 줄이고 리소그래피 (lithography) 의 해상도와 정확도를 향상시키기 위해 최신의 최첨단 포토레시스트 슬라이싱, 이미징, 개발 기술로 특별히 설계되었습니다. CT-608D는 전동식 웨이퍼 처리 스테이션에 장착 된 8 인치 웨이퍼 카세트에 자외선 (UV) 레이저 소스를 사용합니다. 레이저 (laser) 는 기판, 레이어 (layer) 에 정확하게 포토레스 패턴 (photoresist pattern) 을 자르는 데 사용되며, 컴퓨터 제어 장치는 패턴 프로세스의 정확성을 보장합니다. 또한, CALITECH CT-608D (CALITECH CT-608D) 는 패턴이 기판에 에칭되기 전에 오류를 최소화하는 독특한 전면 정렬 머신을 갖추고 있습니다. "레이저 '원 은 또한 자외선 에서 적외선 에 이르는, 여러 가지 파장 을 전달 하여 여러 가지 물질 의 필요 를 지지 할 수 있다. 이 도구는 기판의 불균일성 (non-uniformities) 을 감지하고 보상하여 저항선이 정확하게 그려지고 이미지화되도록 할 수도 있습니다. 에셋에는 클로즈드 루프 (closed-loop) 레시피 제어 이미징 모델이 장착되어 있어 노출 시간, 레이저 전원 설정, 기타 이미징 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 따라서, 사용자는 리소그래피 프로세스를 특정 요구사항 및 기판 유형에 맞게 유연하게 사용할 수 있습니다. 이 장비는 고해상도 카메라와 컴팩트 (compact) 옵틱을 특징으로하며, 두 제품 모두 이미징 프로세스의 해상도와 반복성을 향상시키도록 설계되었습니다. 또한, 5축 리플리케이터는 세밀한 세부 사항을 위한 추가 해상도를 제공하고, 선명도가 아닌 아티팩트를 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 카메라는 또한 패턴 오류 또는 이물질을 감지할 수있는 통합, 자동 검사 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 CT-608D에는 와이어 본드 (wire-bond) 잘못 정렬을 일으킬 수있는 패턴의 분산을 줄이기 위해 설계된 패처 드라이버 유닛이 있습니다. 또한, 이 기계에는 내장 저항제 (Resist) 개발 툴이 포함되어 있어 외부 자산이 없어도 손쉽게 웨이퍼를 로드하고 청소할 수 있습니다. 이 개발 모델에는 기판 표면에서 잔류 저항을 제거하는 자동 (auto-desmear) 기능이 포함되어 있어 나노 (nanofabrication) 를 개선하는 데 도움이됩니다. CALITECH CT-608D (CALITECH CT-608D) 는 강력하고, 안정적이며, 정확성이 높은 사진작용가 (photoresist) 장비로, 다양한 재료에 대한 최고 품질의 사진작용가 패턴을 일관되게 전달할 수 있으며, 가장 까다로운 리소그래피 프로세스에 대해 자동적이고 정밀한 이미징 프로세스를 제공합니다.