판매용 중고 CALI-TECH CT-608D #9151584

CALI-TECH CT-608D Photoresist Equipment는 반도체 산업의 응용 분야를 위해 설계된 고급 고성능 에칭 및 증착 도구입니다. 스퍼터 및 플라즈마 에치 프로세스, 박막 증착 및 저항 스트립에 이상적입니다. 이 "시스템 '에는 거대 한" 챔버' 가 있는데, 그것 은 직경 이 최대 6 "인치 '인 넓은 기판 을 수용 할 수 있다. 세로형 설계는 챔버 인테리어에 쉽게 액세스할 수 있게 해 주며, 유지 관리 및 처리 유연성을 쉽게 제공합니다. 이 장치는 고급 질량 흐름 컨트롤러를 사용하여 프로세스 가스를 조절하고 정밀 제어를 보장합니다. 또한 혁신적인 플라즈마 생성기와 최적의 플라즈마 생성을 위해 일치하는 네트워크 시스템을 갖추고 있습니다. CT-608D Photoresist Machine은 고성능 에칭 및 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 정밀 사진 촬영 도구 (precision photolithography tools) 와 컨트롤러 (controller) 가 장착되어 기판의 형상 및 치수를 정확하게 정의할 수 있습니다. photolithography 도구를 사용하면 빛의 투과, 노출, 자외선 (UV) 방사선 및 노출 후 베이킹뿐만 아니라 깊은 자외선 노출에 저항 할 수 있습니다. 최고의 etch 균일성을 보장하기 위해 도구는 독점적 인 펄스 전원 모듈 (PPM) 을 사용합니다. 이렇게 하면 조정 가능한 펄스 주파수 (pulse frequency), 펄스 너비 (pulse width) 및 펄스 에너지 (pulse energy) 를 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. CALI-TECH CT-608D Photoresist Asset에는 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 도 포함되어 있으며, 이는 샘플 표면에 이식 된 photoresist 패턴 무결성 및 이온 에너지 수준을 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. CT-608D Photoresist Model은 뛰어난 프로세스와 냉각 기능을 제공합니다. 이 장비는 DSC (Dynamic Spray Cooling) 를 특징으로합니다. DSC (Dynamic Spray Cooling) 는 만족스러운 온도 프로파일을 유지하면서 기판의 전체 표면적에 균일 한 냉각을 제공합니다. 냉각 기능을 통해 빠른 프로세스가 가능하며, 온도 안정화 시간이 최소화되어 처리량이 증가합니다. 이 시스템에는 열 방사선 실드 (thermal radiation shield) 와 노이즈 장벽 (noise barrier) 이 포함되어 공정 챔버에 대한 저주파 주변 노이즈의 영향을 줄입니다. 환경 영향을 줄이기 위해, 이 장치는 과잉 재료를 안전하게 버리는 공기 및 가스 사이클링 시스템을 통합합니다. CALI-TECH CT-608D Photoresist Machine은 반도체 산업을 위해 매우 강력한 도구입니다. 고급 도구 기능을 통해 프로세스 유연성과 환경 영향이 낮으며, 정밀 사진 촬영 (photolithography) 및 펄스 전원 (pulsed power) 기술을 통해 고정밀 에칭 및 증착이 가능합니다. CT-608D Photoresist Asset을 사용하면 시간과 노력을 최소화하면서 안정적이고 고품질 기판을 생산할 수 있습니다.