판매용 중고 C&D / SSI P9000 #9390291

C&D / SSI P9000
ID: 9390291
Coater / Developer system (3) JULABO F32 Recirculating chillers Resist cabinet Chemical cabinet Resist waste pump JustRite waste drum cabinet Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 3-Phase.
C & D/SSI P9000은 반도체 칩 응용 프로그램을위한 리소그래피 마스크를 만들도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 여기 에는 빛 에 노출 될 때 활성화 되는 감광 화학 물질 을 사용 하는 것 이 포함 된다. 이 시스템은 오프라인 (offline) 작업과 다양한 종류의 작업을 등록할 수 있는 자동화된 최첨단 (state-of-the-art) 노출 도구로 구성됩니다. 이 장치의 다른 구성 요소로는 스마트 로더, 저항 코팅 장치 (스프레이, 딥, 스핀), 정렬 테이블 및 하드너가 있습니다. 이 모든 구성 요소는 통합된 photoresist 기계를 형성하기 위해 함께 제공됩니다. C&D P9000은 인상적인 시야와 노출 속도를 갖춘 고해상도 투사 도구를 갖추고 있습니다. 이것은 고정밀 마스크 생성을 제공하므로 반도체 칩 어플리케이션에 적합합니다. 투사 에셋은 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 필요에 따라 빠르게 조정할 수 있습니다. 코팅 모델은 빠르고 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 균등하게 분산 된 저항 재료를 제공합니다. 정렬 테이블은 정확한 위치 지정 (positioning) 과 빠른 위치 변경 (quick repositioning) 을 보장합니다. 즉, 장비를 신뢰하여 작동시킬 수 있습니다. 내장 하드너 (hardener) 는 자동화된 균일 한 치료 프로세스를 제공하여 마스크의 안정성과 내구성을 보장합니다. 전반적으로 SSI P9000은 포괄적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템입니다. 대용량 및 소용량 생산 요구 사항을 모두 충족할 수 있도록 lithography 마스크를 만드는 데 적합합니다. 자동화된 컴포넌트를 사용하면 빠른 설치, 조정, 종료 (termination) 를 수행할 수 있습니다. 즉, 정확한 정확성과 안정성으로 마스크를 빠르게 생산할 수 있습니다.
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