판매용 중고 C&D SEMI 6700 #9219324
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C&D SEMI 6700 (C&D SEMI 6700) 은 제조업체가 다양한 기판에 특수 패턴을 세분화할 수 있도록 설계된 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 전자 업계에서 방호층과 코팅 (coating) 을 다양한 부품에 에칭하기 위해 널리 사용됩니다. 6700의 핵심 구성 요소는 두 개의 통합 광학 시스템입니다. 첫 번째 단위는 고급 석판 현미경을 사용하여 사용자가 기판에 매우 정밀하고 복잡한 패턴을 만들 수 있도록 도와줍니다 (영문). 이 현미경 은 정교 한 광학 "에너지 '를 갖추고 있어서, 가장 작은 특징 까지도 정확 하게 목표 를 정하고 식별 할 수 있다. 두 번째 광 머신 (optical machine) 은 고출력 석판 노출 도구를 사용하여 사용자정의 패턴을 기판 표면으로 전송합니다. 이 자산은 백사이드 조명 (backside illumination) 과 일련의 렌즈를 사용하여 기판의 고해상도 이미지를 제공하는 이미징 모델 (imaging model) 을 결합합니다. 이 장비는 또한 IR 카메라를 사용하여 기판의 작은 불규칙성을 감지하여 오류 가능성을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다 (영문). 이 과정은 기질의 표면에 적용되는 photoresist 솔루션으로 시작됩니다. 이 저항성 물질 은 빛 에 민감 하며, 나중 에 "패턴 '이 달린 표면 을" 에칭' 화학 물질 로부터 보호 하는 데 사용 될 것 이다. 장치 에 기판 을 적재 하면, "레지스트 '재료 는 현미경 의 광학" 에너지' 에 의해 생성 되는 집중광 "패턴 '에 선택적 으로 노출 된다. C&D SEMI 6700은 구성 가능하며, 요구 사항에 따라 다양한 모델 변형을 제공합니다. 이 장치는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 미리 정의된 매개변수를 신속하게 설정하고 기판에 에칭 패턴을 시작할 수 있습니다. 또한, 장치에는 운영자 오류의 가능성을 최소화하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. 결론적으로 6700은 다재다능한 고성능 포토 esist 시스템입니다. 고급 석판 광학 장치 (advanced lithographic optics) 와 임베디드 백사이드 조명 이미징 장치 (embedded backside illumination imaging unit) 의 조합은 기판에서 매우 상세하고 정확한 패턴을 생성 할 수있는 기능을 제공합니다. 또한, 견고한 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 빠르게 매개변수를 설정하고, etching 프로세스를 시작할 수 있으며, 안전 (safety) 기능은 추가 보호 계층을 제공합니다.
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