판매용 중고 BUHLER / LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 #293741528

ID: 293741528
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2007
Coating machine, 6"-8" Chamber, 700 mm Control system POLYCOLD PFC 672 Cooling system Meissner trap Evaporation shielding set DP250A Oil-free vacuum pump DP80 Single stage screw pump Root pump TPH 2101 Turbomolecular pump with automatic sequence control and interlock Process gas with pressure control (oxygen) Substrate drive Single flat plate substrate holder, 6"-8" Uniformity mask Substrate heater ceramic, 5.2 kW PIAD (Plasma Ion Assisted Deposition Sources) Advanced plasma source Anode tube Tool set LaB6 Cathode (2) Spare ceramic rings Graphite heater Crucible 1- pocket 102/17 for HPE 6 Electron beam evaporator XMS Quartz crystal measurement system (10) Quartz Crystals XMS Dual quartz crystal sensor head Electrical power connection: 60 Hz 2007 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710은 고급 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 정밀 도구는 집적 회로, 마이크로프로세서, 메모리 칩 (memory chip) 과 같은 전자 장치의 생산에 중요한 요소입니다. BUHLER SYRUSpro 710은 사진 분석 과정에서 탁월한 정확성, 반복 가능성, 효율성을 제공하여 제조업체가 더 높은 수율과 뛰어난 장치 성능을 얻을 수 있습니다. LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710은 고급 광학 시스템으로, 최첨단 기술을 활용하여 뛰어난 해상도 및 정렬 기능을 제공합니다. 이 장치에는 고성능 광원, 정밀 광학, 정교한 정렬 알고리즘이 포함되어 있어 반도체 기판에 포토 esist 재료의 정확한 패턴화를 보장합니다. 이 기계는 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 를 달성 할 수 있으며, 점점 더 작은 기능 크기의 장치를 생산하는 데 이상적입니다. 시러스프로 710 (SYRUSpro 710) 은 다양한 기능과 기능을 제공하여 반도체 제조를 위한 다목적 도구입니다. 한 가지 핵심 기능은 다중 파장 기능 (multi-wavength capability) 인데, 사용중인 특정 프로세스 또는 재료의 요구 사항에 따라 다른 파장의 광원을 선택할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 도구는 다양한 응용 프로그램, 재료를 수용할 수 있으며, 그 활용도와 비용 효율성을 높일 수 있습니다. 고급 광학 자산 외에도 BUHLER SYRUS PRO 710에는 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스를 간소화하고 사람의 오류를 최소화하는 정교한 자동화 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 지능형 소프트웨어 제어 (Intelligent Software Control) 기능이 있어 복잡한 노출 패턴을 쉽고 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. 이 자동화 기능은 생산성을 높일 뿐만 아니라 일관되고 재현 가능한 결과를 보장하며, 대용량 반도체 제조에 매우 중요합니다. BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710은 고출력 생산 환경을 위해 설계되었으며, 효율성을 최적화하고 주기 시간을 단축하는 기능을 제공합니다. 이 시스템은 신속한 기판 포지셔닝 및 노출, 다운타임 최소화, 생산 처리량 극대화를 위한 고속 단계를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 자동 로드 및 언로드 시스템 (automated loading and unloading system) 을 포함한 고급 웨이퍼 처리 기능이 장착되어 있어 생산성과 확장성이 더욱 향상되었습니다. 시러스 프로 710 (SYRUS PRO 710) 의 주요 장점 중 하나는 안정성과 안정성으로, 운영 기간 연장에 걸쳐 일관된 성능을 보장합니다. 이 기계는 클린 룸 (Cleanroom) 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 강력한 구성과 고급 오염 제어 기능을 통해 사진 (Photolithography) 프로세스의 무결성을 유지할 수 있습니다. 이 신뢰성은 높은 수율과 일관된 장치 품질을 달성하려는 반도체 제조업체에 필수적입니다. 전반적으로 LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710은 반도체 제조에서 정밀 사진 해설을위한 새로운 표준을 설정합니다. 고급 옵티컬 툴, 자동화 기능, 고해상도 (HI) 설계 등을 갖춘 이 자산은 차세대 전자 기기를 생산할 수 있는 탁월한 성능과 다양한 기능을 제공합니다. 반도체 제조업체는 BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710을 사용하여 가장 까다로운 패턴화 요구 사항을 충족하고 비용 효율적이고 효율적인 방식으로 탁월한 장치 성능을 달성할 수 있습니다.
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