판매용 중고 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 #293819219

BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350은 반도체 제조 및 기타 첨단 산업의 고급 사진 석판 공정을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정밀 광학 구성 요소와 최첨단 자동화 기술을 결합하여 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 매우 훌륭한 기능을 패턴화하는 데 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다. BUHLER Syrus 1350 유닛의 중심에는 고급 광학을 사용하여 고해상도 패턴을 포토 esist 코팅 웨이퍼 표면에 투영하는 정교한 노출 모듈이 있습니다. "렌즈 '," 미러' 및 "필터 '를 포함 한 기계 의 광학 부품 들 은 투영 된" 패턴' 의 정확 한 초점 과 정렬 을 보장 하기 위하여 세심 하게 설계 되어 "서브미크론 '해상도 와 조밀 한 오버레이 제어 를 위한 도구' 가 되었다. 이 정밀도 (level of precision) 는 항상 축소되는 피쳐 크기로 현대 반도체 장치에 필요한 복잡한 패턴을 만드는 데 필수적입니다. LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 에셋은 포토 esist 물질을 웨이퍼에 노출시키는 데 필요한 강렬하고 절연 된 빛을 생성하는 고출력 UV 광원을 특징으로합니다. 이 모델의 광원은 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에 일관된 노출 에너지를 전달하기 위해 신중하게 교정되고 제어되어, 균일 한 패턴화 (patterning) 및 신뢰할 수있는 프로세스 반복성을 보장합니다. 자외선 광원 (UV light source) 은 다양한 유형의 포토리스 (photoresist) 재료 및 프로세스 요구사항을 수용하기 위해 다양한 파장으로 구성될 수 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램의 장비를 최적화할 수 있습니다. 프로세스 유연성과 생산성을 높이기 위해 Syrus 1350 시스템에는 정교한 자동 처리 장치 (Automated Handling Unit) 가 장착되어 있어 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 이러한 자동화 기능을 통해 수작업 (manual intervention) 을 줄이고 웨이퍼 처리 오류를 최소화하며, 전반적인 사진 분석 프로세스를 간소화하고, 머신 처리량을 향상시킵니다. 이 도구의 처리 자산에는 고급 로봇 (robotics) 및 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능도 포함되어 있으므로 다른 반도체 제조 장비 및 공정 제어 시스템과의 원활한 통합이 가능합니다. 정밀 옵틱 및 고급 자동화 기능 외에도 BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 모델은 프로세스 제어 및 최적화를위한 포괄적 인 소프트웨어 도구 모음을 제공합니다. 이 장비의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자는 노출 매개변수 (Exposure Parameter) 를 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링하고, 패턴화 결과를 분석하여 높은 프로세스 수익률과 품질을 얻을 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 패턴 충실도 (pattern fidelity) 를 최적화하고 프로세스 유발 왜곡 또는 결함을 수정하는 고급 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있습니다. 전체적으로 BUHLER Syrus 1350 photoresist 시스템은 반도체 제조 및 고급 연구 설정에서 고해상도 photolithography 응용 분야를위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. LEYBOLD OPTICS 1350 장치는 탁월한 정밀도, 자동화 기능, 소프트웨어 기반 프로세스 제어를 통해 서브미크론 해상도와 뛰어난 프로세스 반복성으로 탁월한 패턴화 결과를 얻을 수 있습니다. 최첨단 반도체 장치 생산이나 새로운 마이크로패브라이션 (microfabrication) 기술 개발에 사용되든, 시러스 1350 머신은 포토리터그래피 성능의 경계를 넓히기 위한 강력하고 다양한 플랫폼을 제공합니다.