판매용 중고 BREWER SCIENCE CEE 2100 #77373
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ID: 77373
웨이퍼 크기: 3" - 6"
Thermal processing system, automatic cassette to cassette, 3"-6" with ORIEL 8094 lamp house, 68810 supply, 8160 timer, 115 volts.
브루어 사이언스 씨 2100 (BREWER SCIENCE CEE 2100) 은 미세 전자 장치 및 기타 제품의 반도체 제조에서 에치 또는 "개발" 기능에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 시스템 (Photoresist Systems) 은 기판의 표면에 음의 이미지를 생성하기 위해 사용되거나, 또는 재료 (material) 를 제거하여 원하는 모양이나 패턴을 생성합니다. CEE 2100 (CEE 2100) 은 고부가가치 마이크로일렉트로닉 장치 및 마이크로 구조화 부품의 생산을 위해 설계된 고급 포토리스 시스템입니다. BREWER SCIENCE CEE 2100 포토 esist 유닛은 진공 cha & mbsp; mber, 기판 홀더 및 웨이퍼 처리 기계를 갖추고 기판을 빠르고 효율적으로 적재 및 언로드합니다. CEE 2100 도구는 또한 독특하고 효율적인 듀얼 스테이지 이미징 어셈블리를 포함하며, 이는 기판 표면에 최적의 photoresist 커버리지를 제공합니다. Photoresist 스트리퍼 (Photoresist Stripper) 는 기판 서피스에서 과도한 photoresist 재료를 제거하는 데 사용되고 기판 클리너 (Substrate Cleaner) 는 photoresist를 코팅하기 전에 기판 표면을 청소하는 데 사용됩니다. 포토 esist 프로세스는 계면 활성제, 용매 및 세제가 코팅 용 기판을 준비하기 위해 사용되는 사전 프로세스 (pre-process) 또는 프리 클린 사이클 (pre-clean cycle) 로 시작합니다. 전처리주기 (pre-process cycle) 다음에는 코팅 사이클 (coating cycle) 이 있으며, 이는 기판에 균일하고 정확한 포토 esist 재료 층을 적용하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 광전자 (photoresist) 는 광전자를 활성화시키고 원하는 패턴을 기판 표면에 각인시키는 데 사용되는 전자기 복사 (electromagnetic radiation) 에 노출된다. 그런 다음 노출 후 처리를 사용하여 이미지를 더욱 개선합니다. 광전자 (photoresist) 는 굳어지고 발달되어 있으며, 이를 통해 광전자는 원하는 패턴을 제외하고 기판 표면에 남을 수있다. 개발 후, 부품은 젖은 화학 목욕탕에 들어가, 기판 표면의 나머지 부분에서 포토 레스트 (photoresist) 를 녹이고 원하는 패턴을 남긴다. 포토 esist 프로세스의 마지막 단계에는 노출 후 기질 클리닝 및 린스 (Rinse) 가 포함되며, 이는 기판 표면에서 잔여 포토 esist 물질을 제거하는 데 도움이됩니다. BREWER SCIENCE CEE 2100 자산은 고급 마이크로 일렉트로닉스 및 마이크로 구조화 된 부품을 위해 설계되었으며, 포토 esist 처리를 위해 안정적이고 효율적이며 정확한 프로세스를 제공합니다.
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